"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Рентгенодифракционное исследование реальной структуры микроканального кремния
Астрова Е.В.1, Ратников В.В.1, Ременюк А.Д.1, Ткаченко А.Г.1, Шульпина И.Л.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 9 августа 2000 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2000 г.

Методами рентгеновской дифрактометрии и топографии исследована структура кристаллической решетки микроканального кремния и влияние на нее процессов термического окисления.
  • Ottow S., Lehman V., Foll H. // J. Electrochem. Soc. 1996. V. 143. P. 385
  • Lehman V., Honlein W., Reisinger H. et al. // Thin Solid Films. 1996. V. 276. P. 138
  • Астрова Е.В., Воронков В.Б., Грехов И.В., Нащекин А.В. и др. // Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25. В. 23. С. 72
  • Астрова Е.В., Шульпина И.Л., Ткаченко А.Г. и др. // Письма в ЖТФ. 2000. Т. 26. В. 24. С. 31
  • Bowen D.K., Tanner B.K. High resolution X-ray diffractometry and topography. London: Taylor and Francis, UK, 1998. 252 p
  • Barla K., Herino R., Bomchil G. et al. // J. Crystal Growth. 1984. V. 68. P. 727
  • Астрова Е.,В., Ратников В.В., Витман Р.В. и др. // ФТП. 1997. Т. 31. С. 1261
  • Papadimitriou D., Bitsakis J., Lopez-Villegas J.M. et al. // Thin Sol. Films. 1999. V. 349. P. 293
  • Jaccodine R.J., Schlegel W.A. // J. Appl. Phys. 1966. V. 37. N 6. P. 2429
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.