"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Сравнительное исследование проникновения атомарного водорода в тонкие пленки ванадия и систему оксид кремния--арсенид галлия
Божков В.Г.1,2, Кагадей В.А.1,2, Проскуровский Д.И.1,2, Ромась Л.М.1,2
1Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов, Томск, Россия
2Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
Email: vak@lve.hcei.tsc.ru
Поступила в редакцию: 19 мая 2000 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2000 г.

Установлено, что закономерности проникновения атомарного водорода, получаемого из дугового отражательного разряда с полым катодом и самокалящимся элементом, в образцы GaAs, покрытые тонкой пленкой SiO2, существенно отличаются от закономерностей гидрогенизации тонких ванадиевых пленок. Показано, что количество водорода, проникающего в SiO2/GaAs, уменьшается с ростом концентрации атомарного водорода в газовой фазе, что, по-видимому, связано с уменьшением вероятности проникновения атомов водорода в SiO2/GaAs. Высказано предположение, что вероятность проникновения атомарного водорода в SiO2/GaAs существенно падает с уменьшением энергии атомов и/или с ростом концентрации водорода в тонком приповерхностном слое.
  1. Водород в металлах. Т. 2. Прикладные аспектры / Под ред. Г. Алефельда и И. Фёлькля. М.: Мир, 1981. 430 с
  2. Фром Е., Гебхардт Е. Газы и углерод в металлах. М.: Металлургия, 1980. 711 с
  3. Взаимодействие водорода с металлами / Под ред. А.П. Захарова. М.: Наука, 1987. 295 с
  4. Polyakov A.Y., Smirnov N.B., Chelniy A.A., Balmashnov A.A., Milnes A.G., Pearton S.J. // Solid-Electronics. 1995. V. 38(4). P. 771--774
  5. Kagadei V.A., Proskurovsky D.I. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1998. V. 16(4). P. 2556--2561
  6. Morrow R. // J. Appl. Phys. 1989. V. 66(7). P. 2973--2979
  7. Watanabe N., Nittono T., Hirishi I., Kondo N., Nanishi Y. // J. Appl. Phys. 1993. V. 3(12). P. 8146--8150
  8. Bruneteau A.M., Hollos G., Bacal M., Bretagne J. // J. Appl. Phys. 1990. V. 67(12). P. 7254--7264
  9. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1987. 592 с
  10. Samano E.C., Carr W.E., Siedl M., Lee B.S. // Rev. Sci. Instrum. 1993. V. 64(10). P. 2746--2752
  11. Sommerer T.J., Kushner M.J. // J. Appl. Phys. 1991. V. 70(3). P. 1240--1250

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.