Вышедшие номера
Электрофизические свойства тонких пленок BaxSr1-xTiO3 различного состава в СВЧ диапазоне
Разумов С.В.1, Тумаркин А.В.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 12 апреля 2000 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2000 г.

Приведены результаты исследований электрофизических свойств пленок BaxSr1-xTiO3 различного состава, полученных методом ионно-плазменного распыления в зависимости от технологических параметров процесса синтеза.