Влияние гидрогенизации на фотопроводимость ионно-легированных структур арсенида галлия
Кагадей В.А.1, Лиленко Ю.В.1, Широкова Л.С.1, Проскуровский Д.И.1
1ГНПП "Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов", Томск Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск
Поступила в редакцию: 26 августа 1999 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2000 г.
Установлено, что гидрогенизация в атомарном водороде ионно-легированных n+-n-ni-структур GaAs приводит к более быстрой релаксации фотопроводимости имплантированных слоев, к уменьшению влияния напряжения смещения, прикладываемого к n+-слою, на фотопроводимость и к улучшению характеристик транзисторов с барьером Шоттки и интегральных схем, изготовленных на их основе. Наблюдаемые явления, по-видимому, обусловлены образованием комплексов водорода с электрически активными центрами в GaAs.
- Chevallier J., Aucouturier M. // Ann. Rev. Mater. Sci. 1988. V. 18. P. 219--256
- Corbett J.W., Pearton S.J., Stavola M. // Defect control in semiconductors / Ed. K. Sumino. Elsevier Science Publishers B.V. North--Holland, 1990. P. 53--63
- Pearton S.J., Dautremont-Smith W.C., Chevallier J., Tu C.W., Cummings K.D. // J. Appl. Phys. 1986 V. 59 (8). P. 2821--2827
- Lagovski V., Kaminska M., Parsey J.M., Gatos Jr. H.C., Lichtensteiger M. // Appl. Phys. Lett. 1982. V. 41 (11). P. (11). P. 1078--1080
- Кагадей В.А., Лиленко Ю.В., Проскуровский Д.И., Широкова Л.С. // Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25. В. 13. С. 37--41
- Kagadei V.A., Proskurovsky D.I. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1998. V. 16 (4). P. 2556--2561
- Кагадей В.А., Проскуровский Д.И., Регер С.Д., Ромась Л.М. // Микроэлектроника. 1998. Т. 27. N 1. С. 10--15
- Принц В.Я. // Патент России N 2006984. Б.И. 30.01. 1994
- Prinz V.Ya., Rechkunov S.N., Smoylov V.A. // Inst. Phys. Conf. Ser. 1997. V. 160. P. 487-490
- Божков В.Г., Кагадей В.А., Торхов Н.А. // Труды VI международной конференции "Актуальные проблемы электронного приборостроения -- 98". Т. 2. С. 206--207. Новосибирск, 23--26 сентября 1998
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук