Вышедшие номера
Новый подход к созданию наноэлектронных систем в размерно-квантующем потенциальном рельефе встроенных зарядов в изолирующих слоях у поверхности полупроводника
Гольдман Е.И.1, Ждан А.Г.1
1Институт радиотехники и электроники РАН, Фрязино
Поступила в редакцию: 27 августа 1998 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1999 г.

Анализируется возможность формирования перестраиваемых наномасштабных электронных систем пониженной размерности путем создания в диэлектрике у его межфазной границы с полупроводником регулярного распределения локальной плотности заряда, индуцирующего в приповерхностной области полупроводника двумерный потенциальный рельеф. Профилирование распределения заряда, например посредством сканирования поверхности диэлектрика острием туннельного микроскопа, позволяет, в принципе, организовать всевозможные размерно-квантованные структуры: квантовые ямы, точки, проволоки, сверхрешетки и т. д. Перспективность реализации этого принципа рассматривается на примере системы кремний-окисел.