"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Использование эллипсометрических измерений для высокочувствительного контроля температуры поверхности
Якушев М.В.1, Швец В.А.1
1Институт физики полупроводников СО РАН, Новосибирск
Поступила в редакцию: 26 марта 1999 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1999 г.

Рассмотрена возможность создания высокочувствительного эллипсометрического метода контроля температуры поверхности образцов в свехвысоком вакууме. Метод основан на зависимости фазовой толщины исследуемого слоя от температуры. Проведенные измерения на слоях ZnTe показывают, что коэффициенты чувствительности для эллипсометрических углов psi и Delta составляют 0.1 и 0.5o соответственно на градус температуры. Это более чем на порядок превышает чувствительность традиционно используемых эллипсометрических методов измерения температуры.
  • Glanner G.J., Sitter H., Faschinger W., Herman M.A. // Appl. Phys. Lett. 1984. V. 65. N 8. P. 998--1000
  • Tomita T., Kinosada T., Yamashita T. et al. // Jap. Journ. Appl. Phys. 1986. V. 25. N 11. P. L925--L927
  • Sampson R.K., Massoud H.Z. // J. Electrochem. Soc. 1993. V. 140. N 9. P. 2673--2678
  • Svitashev K.K., Shvets V.A., Mardezhov A.S. et al. // Mater. Sci. Engin. 1997. V. B44. P. 164--167
  • Jiang Z.T., Jamaguchi T., Aoyama M., Hayashi T. // Jap. Journ. Appl. Phys. Part 1. 1998. V. 37. N 2. P. 479--483
  • Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 583 с
  • Properties of Narrow Gap Cadmium-Based Compounds / Ed. by P. Gapper. INSPEC, Infra-Red Limited, London, UK, 1994. 618 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.