"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Использование эллипсометрических измерений для высокочувствительного контроля температуры поверхности
Якушев М.В.1, Швец В.А.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 26 марта 1999 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1999 г.

Рассмотрена возможность создания высокочувствительного эллипсометрического метода контроля температуры поверхности образцов в свехвысоком вакууме. Метод основан на зависимости фазовой толщины исследуемого слоя от температуры. Проведенные измерения на слоях ZnTe показывают, что коэффициенты чувствительности для эллипсометрических углов psi и Delta составляют 0.1 и 0.5o соответственно на градус температуры. Это более чем на порядок превышает чувствительность традиционно используемых эллипсометрических методов измерения температуры.
  • Glanner G.J., Sitter H., Faschinger W., Herman M.A. // Appl. Phys. Lett. 1984. V. 65. N 8. P. 998--1000
  • Tomita T., Kinosada T., Yamashita T. et al. // Jap. Journ. Appl. Phys. 1986. V. 25. N 11. P. L925--L927
  • Sampson R.K., Massoud H.Z. // J. Electrochem. Soc. 1993. V. 140. N 9. P. 2673--2678
  • Svitashev K.K., Shvets V.A., Mardezhov A.S. et al. // Mater. Sci. Engin. 1997. V. B44. P. 164--167
  • Jiang Z.T., Jamaguchi T., Aoyama M., Hayashi T. // Jap. Journ. Appl. Phys. Part 1. 1998. V. 37. N 2. P. 479--483
  • Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 583 с
  • Properties of Narrow Gap Cadmium-Based Compounds / Ed. by P. Gapper. INSPEC, Infra-Red Limited, London, UK, 1994. 618 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.