Рассмотрена возможность создания высокочувствительного эллипсометрического метода контроля температуры поверхности образцов в свехвысоком вакууме. Метод основан на зависимости фазовой толщины исследуемого слоя от температуры. Проведенные измерения на слоях ZnTe показывают, что коэффициенты чувствительности для эллипсометрических углов psi и Delta составляют 0.1 и 0.5^o соответственно на градус температуры. Это более чем на порядок превышает чувствительность традиционно используемых эллипсометрических методов измерения температуры.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.