Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Использование эллипсометрических измерений для высокочувствительного контроля температуры поверхности
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия 
Поступила в редакцию: 26 марта 1999 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1999 г.
Рассмотрена возможность создания высокочувствительного эллипсометрического метода контроля температуры поверхности образцов в свехвысоком вакууме. Метод основан на зависимости фазовой толщины исследуемого слоя от температуры. Проведенные измерения на слоях ZnTe показывают, что коэффициенты чувствительности для эллипсометрических углов psi и Delta составляют 0.1 и 0.5o соответственно на градус температуры. Это более чем на порядок превышает чувствительность традиционно используемых эллипсометрических методов измерения температуры.
- Glanner G.J., Sitter H., Faschinger W., Herman M.A. // Appl. Phys. Lett. 1984. V. 65. N 8. P. 998--1000
- Tomita T., Kinosada T., Yamashita T. et al. // Jap. Journ. Appl. Phys. 1986. V. 25. N 11. P. L925--L927
- Sampson R.K., Massoud H.Z. // J. Electrochem. Soc. 1993. V. 140. N 9. P. 2673--2678
- Svitashev K.K., Shvets V.A., Mardezhov A.S. et al. // Mater. Sci. Engin. 1997. V. B44. P. 164--167
- Jiang Z.T., Jamaguchi T., Aoyama M., Hayashi T. // Jap. Journ. Appl. Phys. Part 1. 1998. V. 37. N 2. P. 479--483
- Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 583 с
- Properties of Narrow Gap Cadmium-Based Compounds / Ed. by P. Gapper. INSPEC, Infra-Red Limited, London, UK, 1994. 618 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
