Вышедшие номера
Использование эллипсометрических измерений для высокочувствительного контроля температуры поверхности
Якушев М.В.1, Швец В.А.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 26 марта 1999 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1999 г.

Рассмотрена возможность создания высокочувствительного эллипсометрического метода контроля температуры поверхности образцов в свехвысоком вакууме. Метод основан на зависимости фазовой толщины исследуемого слоя от температуры. Проведенные измерения на слоях ZnTe показывают, что коэффициенты чувствительности для эллипсометрических углов psi и Delta составляют 0.1 и 0.5o соответственно на градус температуры. Это более чем на порядок превышает чувствительность традиционно используемых эллипсометрических методов измерения температуры.