"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Эффект разделения окислов германия и кремния при плазмохимическом осаждении германосиликатного стекла в сканирующем плазменном столбе
Голант К.М.1, Николин И.В.1
1Научный центр волоконной оптики РАН, Москва, Росссия
Поступила в редакцию: 5 апреля 1999 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1999 г.

В спектре оптического пропускания германосиликатного стекла, осажденного методом SPCVD (surface plasma chemical vapor deposition) на внутренней поверности кварцевой трубки, обнаружены интерференционные резонансы, характерные для многослойных диэлектрических покрытий с чередующимися значениями показателя преломления. Показано, что причина этого явления заключается в продольной неоднородности состава плазмы, а именно в аксиальном смещении максимумов концентраций германия и оксида кремния. При движении плазмы с неоднородным составом вдоль трубки формируется слой стекла с сильным поперечным градиентом концентрации германия. Установлено, что аксиальное разделение областей осаждения окислов кремния и германия в SPCVD возрастает, если синтез стекла производится в условиях дефицита кислорода.
  1. Pavy D., Moisan M., Saada S., Chollet P., Leprince P., Marrec J. // Proc. 12th European Conf. on Optical Commun. Barcelona, 1986. P. 19--22
  2. Moisan M., Beaudry C., Leprince P. // IEEE Trans. On Plasma Science. 1975. V. PS-3. N 2. P. 55--59
  3. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, Гл. ред. физ.-мат. литературы, 1970. 885 с
  4. Хьюбер К.П., Герцберг Г. Константы двухатомных молекул. М.: Мир, 1984. Ч. 2. 365 с
  5. Корлисс Ч., Бозман У. Вероятности переходов и силы осцилляторов 70 элементов. М.: Мир, 1968. 561 с
  6. Физические величины / Спр. под ред. И.С. Григорьева и Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.