Вышедшие номера
Эффект разделения окислов германия и кремния при плазмохимическом осаждении германосиликатного стекла в сканирующем плазменном столбе
Голант К.М.1, Николин И.В.1
1Научный центр волоконной оптики РАН, Москва, Росссия
Поступила в редакцию: 5 апреля 1999 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1999 г.

В спектре оптического пропускания германосиликатного стекла, осажденного методом SPCVD (surface plasma chemical vapor deposition) на внутренней поверности кварцевой трубки, обнаружены интерференционные резонансы, характерные для многослойных диэлектрических покрытий с чередующимися значениями показателя преломления. Показано, что причина этого явления заключается в продольной неоднородности состава плазмы, а именно в аксиальном смещении максимумов концентраций германия и оксида кремния. При движении плазмы с неоднородным составом вдоль трубки формируется слой стекла с сильным поперечным градиентом концентрации германия. Установлено, что аксиальное разделение областей осаждения окислов кремния и германия в SPCVD возрастает, если синтез стекла производится в условиях дефицита кислорода.