Вышедшие номера
Исследование методом микрокатодолюминесценции ростовых особенностей эпитаксиальных GaN слоев на сапфире
Усиков А.С.1, Третьяков В.В.1, Лундин В.В.1, Задиранов Ю.М.1, Пушный Б.В.1, Конников С.Г.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 1 декабря 1998 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1999 г.

Проведены исследования режимов роста эпитаксиальных нелегированных слоев GaN при различных режимах нитридизации подложки. Обнаружено, что при температуре нитридизации ~1000oC формируются пленки с характерными ростовыми особенностями в виде гексагональных пирамид со сглаженной поверхностью между ними. В картине катодолюминесценции в пирамидах обнаружена тонкая структура, в которой выявлена область с донорно-акцепторной рекомбинацией (ДАР). Формирование акцепторных уровней в этой области было связано с собственными структурными дефектами слоев GaN с ненасыщенными (оборванными) связями. Наличие линии ДАР в зеркально-гладких эпитаксиальных пленках может указывать на присутствие в них структурных дефектов данного типа.