"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Мониторинг (осаждаемой) интерференционной пленки методом дифференциального отражения света
Адамсон П.В.1
1Институт физики, Тарту
Поступила в редакцию: 15 января 1998 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1998 г.

Исследуется изменение отражения (дифференциальное отражение) света от интерференционной пленки в результате нанесения на нее сверхтонкого слоя. Методом возмущений получены формулы, описывающие дифференциальное отражение около минимумов и максимумов отражательной способности пленки. Показано, что эти формулы и соответствующие дифференциальные измерения дают возможность легко и однозначно определить толщину и показатель преломления не только сверхтонких поверхностных слоев, но и самих интерференционных пленок. Применение рассматриваемого метода оказывается особенно удобным в мониторинге процесса осаждения тонкопленочных структур.
  1. Herman I.P. Optical Diagnostics for Thin Film Processing. New York: Academic Press, 1996. 783 p
  2. Optical characterization of Epitaxial Semiconductor Layers / Ed. by G. Bauer, W. Richter. Berlin: Springer-Verlag, 1996. 429 p
  3. Mantese L., Rossow U., Aspnes D.E. // Appl. Surf. Sci. 1996. V. 107. P. 35--41
  4. Uwai K., Kobayashi N. // Appl. Surf. Sci. 1996. V. 107. P. 42--47
  5. Bleckmann L., Hunderi O., Richter W., Wold E. // Surf. Sci. 1996. V. 351. P. 277--284
  6. Brunner H., Mayer U., Hoffmann H. // Appl. Spectrosc. 1997. V. 51. N 2. P. 209--217
  7. McIntyre J.P.E., Aspnes D.E. // Surf. Sci. 1971. V. 24. P. 417--434
  8. McGilp J.F. // J. Phys.: Condens. Matter. 1990. V. 2. P. 7985--8006
  9. Pemble M.E., Armstrong S.R., Curry S.M. et al. // Faraday Discuss. 1993. V. 95. P. 199--217
  10. Адамсон П.В. // Опт. и спектр. 1996. Т. 80. В. 3. С. 512--523
  11. Rosental A., Adamson P., Gerst A., Niilisk A. // Appl. Surf. Sci. 1996. V. 107. P. 178--183
  12. Адамсон П.В. // Опт. и спектр. 1997. Т. 82. В. 3. С. 440--446
  13. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М., 1973. 720 с
  14. Schaaf P., Dejardin Ph., Schmitt A. // Rev. Phys. Appl. 1986. V. 21. P. 741--745

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.