Вышедшие номера
Количественный оже-анализ приповерхностных структур
Плюснин Н.И.1
1Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН Владивосток
Поступила в редакцию: 6 марта 1996 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1996 г.

С использованием модельных представлений выведены зависимости глубины зондирования и фактора обратного рассеяния электронов от профиля объемной концентрации атомов и получена уточненная формула для количественного Оже-анализа поперечно-неоднородных многокомпонентных приповерхностных структур.