Вышедшие номера
Осаждение YBa2Cu3O7-delta пленок на обе стороны подложки методом магнетронного напыления
Востоков Н.В.1, Дроздов Ю.Н.1, Мастеров Д.В.1, Павлов С.А.1, Парафин А.Е.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: masterov@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 29 января 2010 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2010 г.

Исследованы особенности формирования пленок YBa2Cu3O7-delta на обеих сторонах подложки при их поочередном нанесении методом магнетронного напыления в геометрии on- axis. При напылении пленки на первую сторону подложки, на ее второй стороне формируется тонкая пленка, которая может служить качественным подслоем при получении пленки заданной толщины на второй стороне подложки. Показано, что контроль свойств пленки, сформировавшейся на обратной стороне подложки в процессе напыления на лицевую сторону, может служить тестом на оптимизацию технологических параметров роста.