Межслоевая релаксация в гетероструктурах AIII-нитридов по данным рентгеновской дифракции
Кютт Р.Н.1, Динаев Ю.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова, Нальчик
Email: r.kyutt@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 26 мая 2009 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2009 г.
Проведено рентгенодифракционное исследование структурного совершенства 2 образцов двухслойной гетеросистемы InN-GaN, выращенной методами молекулярно-лучевой и газофазной эпитаксии на (0001)-плоскости сапфира. Из анализа уширений дифракционных пиков, измеренных в разной геометрии дифракции, получены компоненты тензора микродисторсии и из них оценена плотность отдельных семейств дислокаций в каждом из слоев. Прослежено изменение дислокационной структуры от нижележащего слоя GaN к вышележащему слою InN. Разница в поведении дислокаций в 2 образцах, выращенных разными методами, позволяет предположить разные механизмы релаксации упругих напряжений между слоями InN и GaN в этих двух случаях. PACS: 61.05.cp, 61.72.Lk, 61.72.uj
- Qian W., Skowronski M., De Graef M., Doverspike K., Rowland L.B., Gaskil D.K. // Appl. Phys. Lett. 1995. V. 66. P. 1252--1254
- Heying B., Wu X.H., Keller S., Li Y., Kapolnek D., Keller B.P., DenBaars S.P., Speck J.S. // Appl. Phys. Lett. 1996. V. 68. P. 643
- Metzger T., Hopler R., Born E., Ambacher O., Stutzmann M., Stommer R., Schuster M., Gobel H., Christiansen S., Albrecht M., Strunk H.P. // Phil. Mag. 1998. V. A77. P. 1013
- Кютт Р.Н., Ратников В.В., Мосина Г.Н., Щеглов М.П. // ФТТ. 1999. Т. 41. С. 30--36
- Wang H.-M., Zhang J.-P., Chen C.-Q., Fareed Q., Yang J.W., Asif Khan M. // Appl. Phys. Lett. 2002. V. 81. P. 604--606
- Einfeldt S., Heinke H., Kirchner V., Hommel D. // J. Appl. Phys. 2001. V. 89. P. 2160--2166
- Jiao C.G., Cherns D. // Inst. Phys. Conf. Ser. 2001. N 169. P. 327--332
- Bellet-Amalric E., Adelmann E.C., Sarigiannidou E., Rouviere J.L., Feuillet G., Monroy E., Daudin B. // J. Appl. Phys. 2004. V. 95. P. 1127--1133
- Cantu P., Wu F., Waltereit P., Romanov A.E., Keller S., DenBaars S.P., Speck J.S. // J. Appl. Phys. 2005. V. 97. P. 103 534
- Ratnikov V., Kyutt R., Shubina T., Pashkova T., Valcheva E., Monemar B. // J. Appl. Phys. 2000. V. 88. P. 6252--6258
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук