Особенности структурного состояния [-0.8mm] и механических свойств покрытий ZrN [-0.8mm] и Zr(Ti)-Si-N, полученных [-0.8mm] ионно-плазменными методами
Погребняк А.Д.1, Соболь О.В.1, Береснев В.М.1, Турбин П.В.1, Дуб С.Н.1, Кирик Г.В.1, Дмитренко А.Е.1
1Институт сверхтвердых материалов им. В.Н. Бакуля НАН Украины, Киев, Украина Сумской национальный аграрный университет, Украина Концерн "Укрросметалл", Сумы, Украина Национальный научный центр, Харьковский физико-технический институт (ХФТИ), Украина
Email: turbin-scpt@yandex.ru
Поступила в редакцию: 2 марта 2009 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2009 г.
Рассмотрены возможности формирования нанокристаллических высокотвердых покрытий методом вакуумно-дугового осаждения с ВЧ (HF-high-frequency discharge) стимуляцией. Конденсаты систем Zr(Ti)-Si-N содержат кристаллиты двух фаз ZrN и TiN. Кристаллиты в конденсате находятся под действием деформации сжатия в плоскости роста пленки, величиной порядка -1.1%, что соответствует действию сжимающих напряжений в системе "пленка-подложка" величиной 3.5 GPa. Результаты наноиндентирования свидетельствуют, что в исследуемых объектах наблюдается сильная неоднородность - участки с твердостью 29-30 GPa чередуются с участками, твердость которых превышает 45-47 GPa, что отвечает, полученным из структурных данных, модели двухфазного состояния конденсированного материала, состоящего из менее твердых ZrN кристаллов и более твердых TiN кристаллитов. PACS: 62.20.Qp, 68.47.Gh, 68.60.Bs
- Veprek S., Veprek-Heijman M.G.J., Karvankova P., Prochazka J. // Thin Solid Films. 2005. V. 476. P. 1--29
- Соболь О.В. // ФТТ. 2007. Т. 49. В. 6. С. 1104--1110
- Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. // УФН. 2009. Т. 179. В. 1. С. 35--64
- Береснев В.М., Перлов Д.Л., Федоренко А.И. Экологически безопасное вакуумно-плазменное оборудование и технологии нанесения покрытий. Харьков: ХИСПИ, 2003. 297 с
- Дуб С.Н., Новиков Н.В. // Сверхтвердые материалы. 2004. N 6. С. 16--34
- Соболь О.В. // Физика металлов и металловедение. 2001. Т. 91. N 1. С. 63--71
- Болгар А.С., Литвиненко В.Ф. Термодинамические свойства нитридов. Киев: Наук. думка, 1980. 284 с
- Pogrebnjak A.D., Danilenok M.M., Drobyshevskaya A.A. et al. // Vacuum. 2009. V. 83. P. S235--S239
- Uglov V.V., Anishcik V.M., Zlotski S.V. et al. // Surf. and Coat. Tech. 2008. V. 202. P. 2394-2398
- Musil J., Baroch P., Zeman P. Chapter 1: hard nanocomposite coatings. Present Status and Trends in Books. Edit. rR. Wei Plasma Surface Engineer and its Practical Applications Research Signpost Publ, 2007
- Veprek S., Argon A.S., Zhang R.F. // Phylosophycal Magazine Letters. 2007. V. 87. N 12. P. 955--966
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук