Вышедшие номера
Особенности структурного состояния [-0.8mm] и механических свойств покрытий ZrN [-0.8mm] и Zr(Ti)-Si-N, полученных [-0.8mm] ионно-плазменными методами
Погребняк А.Д.1, Соболь О.В.1, Береснев В.М.1, Турбин П.В.1, Дуб С.Н.1, Кирик Г.В.1, Дмитренко А.Е.1
1Институт сверхтвердых материалов им. В.Н. Бакуля НАН Украины, Киев, Украина Сумской национальный аграрный университет, Украина Концерн "Укрросметалл", Сумы, Украина Национальный научный центр, Харьковский физико-технический институт (ХФТИ), Украина
Email: turbin-scpt@yandex.ru
Поступила в редакцию: 2 марта 2009 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2009 г.

Рассмотрены возможности формирования нанокристаллических высокотвердых покрытий методом вакуумно-дугового осаждения с ВЧ (HF-high-frequency discharge) стимуляцией. Конденсаты систем Zr(Ti)-Si-N содержат кристаллиты двух фаз ZrN и TiN. Кристаллиты в конденсате находятся под действием деформации сжатия в плоскости роста пленки, величиной порядка -1.1%, что соответствует действию сжимающих напряжений в системе "пленка-подложка" величиной 3.5 GPa. Результаты наноиндентирования свидетельствуют, что в исследуемых объектах наблюдается сильная неоднородность - участки с твердостью 29-30 GPa чередуются с участками, твердость которых превышает 45-47 GPa, что отвечает, полученным из структурных данных, модели двухфазного состояния конденсированного материала, состоящего из менее твердых ZrN кристаллов и более твердых TiN кристаллитов. PACS: 62.20.Qp, 68.47.Gh, 68.60.Bs