Вышедшие номера
Миграционное заращивание рельефа поверхности при формировании нанокристаллитов с использованием СВЧ газового разряда низкого давления
Нефедов Д.В.1, Яфаров Р.К.1
1Институт радиотехники и электроники РАН, Саратовский филиал
Email: pirpc@renet.ru
Поступила в редакцию: 10 мая 2007 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2007 г.

Исследованы условия получения наноразмерных островков (квантовых точек) кремния в плазме СВЧ газового разряда низкого давления на некристаллических материалах со слабым взаимодействием на межфазной границе. Показано, что формирование наноостровков происходит через заращивание углублений рельефа поверхности подложки. Предложен механизм влияния параметров режима осаждения на кинетику их формирования. PACS: 61.30.Hn