Фазовые переходы в тонких пленках оксида титана под действием излучения эксимерного лазера
Митрев П.1, Бенвенути Дж.1, Хофман П.1, Смирнов А.1, Калитеевская Н.1, Сейсян Р.1
1Политехническая школа, Лозанна, Швейцария Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, С.-Петербург, Россия
Email: Natalia.Kalit@ffm.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 21 июня 2005 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2005 г.
Было исследовано взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения (ВУФ) ArF эксимерного лазера (длина волны 193 nm, длительность импульса 20 ns) с тонкими пленками аморфного оксида титана, выращенного методом лучевой газофазной эпитаксии. На основе спектров рамановского рассеяния до и после облучения показано, что облучение аморфной пленки оксида титана ВУФ-излучением ведет к кристаллизации сначала в анатаз, а затем в рутил при энергиях в импульсе 40-50 mJ/cm2.
- Diebold U. // Surf. Science Reports. 2003. V. 48. P. 53--229
- Chauvy P.F., Madore C., Landolt D. // Electrochem. Solid-State Lett. 1999. V. 2. P. 123--125
- Peiro A.M.. Peral J., Domonogo C. et al. // Chem. Mat. 2001. V. 13. P. 2567--2573
- Landolt--Bornstein. Numerical Data and Functional Relationships in Science and Technology. Vol. III/17 g: Semiconductor. Springer Verlag, 1984. P. 413
- Ichikawa Y., Setsune K., Kawashima S., Kugimiya // Jap. Journal of Appl. Phys. 2001. V. 40. L1054--L1057
- Benvenuti G. PhD Thesis (EPFL). Lausanne, 2003
- Chauvy P.-F., Hoffmann P., Landolt D. // Applied Surface Science. 2003. V. 211. P. 113--127
- Robert T.D., Laude L.D., Geskin V.M. et al. // Thin Solid Films. 2003. V. 440. P. 268--277
- Morosanu C.E. Thin Films by Chemical Vapour Deposition. Elsevier, 1990
- Maissel L. Handbook of thin film technology. McGraw-Hill, New York, 1970
- Benvenuti G., Halary-Wagner E., Brioude A., Hoffmann P. // Thin Solid Films. 2003. V. 427. P. 411--416
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
