Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2003, выпуск 21 » Статья стр. 40
<<<>>>
Применение тонких металлических пленок для измерения плотности потока атомарного водорода
Кагадей В.А.1, Нефёдцев Е.В.1, Проскуровский Д.И.1, Романенко С.В.1
1Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
Email: vak@lve.hcei.tsc.ru
Поступила в редакцию: 15 мая 2003 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2003 г.
PDF версия
Показано, что с помощью однослойных или двуслойных металлических пленок переходных металлов можно измерять плотность потока атомарного водорода (АВ) в условиях пониженного давления газа (10-1-10-3 Pa). Принцип измерения основан на снятии зависимости приращения сопротивления пленки, обусловленного избирательным растворением АВ в ней, от времени ее экспозиции в смешанном атомарно-молекулярном потоке и определении характеристического времени tau, равного времени достижения концентрации водорода в пленке, соответствующей 63% от предельно достижимой концентрации. Расчет плотности потока производится на основе простой математической модели процесса насыщения пленки водородом, описываемого релаксационным законом. Метод характеризуется высокой избирательной чувствительностью к АВ и позволяет измерять плотность потока атомов в смешанном атомарно-молекулярном потоке диапазоном от 5· 1013 до 1016 at.cm2·s-1.
  1. Leone S. // Jpn. J. Appl. Phys. 1995. V 34. P. 2073--2082
  2. Goodman R.S., Materer N., Leone S.R. // J. Vac. Sci. Technol. B. 1997. 15(4). P. 971--982
  3. Bruno G., Losurdo M., Capezzuto P. // Appl. Phys. Lett. 1995. V. 66(26). P. 3573--3575
  4. Сериков Л.В., Шиян Л.Н., Горбачев А.Ф. и др. // А.с. СССР N 1603257. 1998
  5. Лавренко В.А. Рекомбинация атомов водорода на поверхностях твердых тел. Киев, 1973. С. 203
  6. Sutoh A., Okada Y., Ohta S. et al. // Jpn. J. Appl. Phys. 1995. V. 34. P. L 1379-L 1382
  7. Gordiets B.F., Pinheiro M.J., Tatarova E. et al. // Proc. of XXIV Int. Conf. On Phenomena in Ionized Gases. V. 2. P. 133. July 11--16, 1999. Warsaw, Poland
  8. Bruneteau A.M., Hollos G., Bacal M. et al. // J. Appl. Phys. 1990. V. 67(12). P. 7254--7264
  9. Hydrogen in Metals 2/Ed. by Alefeld G. Volkl--Springer-Verlag, 1978. 430 p
  10. Fromm E., Gebhardt E. // Gases and Carbon in Metals. Springer-Verlag, 1976. 711 p
  11. Взаимодействие водорода с металлами / Под ред. А.П. Захарова М.: Наука, 1987. 295 с
  12. Hoffheins B.S., Maxey L.C., Holmes W. Jr. et al. // Proc. Of the U.S. DOE Hydrogen Program Review. P. 320--328
  13. Cheng Y.-T., Hills R., Li Y., Lisi J. et al. // US Patent. No. 6.670.115. Sep. 23, 1997
  14. Kagadei V.A., Proskurovsky D.I. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1998. V. 16(4). P. 2556--2561
  15. Кагадей В.А., Нефедцев Е.В., Проскуровский Д.И. и др. // Изв. вузов. Физика. 2003 (в печати)
  16. Westlake D.G., Ockers S.T., Gray W.R. // Metallurgical Transactions. 1970. V. 1. P. 1361--1364

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme