"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Применение тонких металлических пленок для измерения плотности потока атомарного водорода
Кагадей В.А.1, Нефёдцев Е.В.1, Проскуровский Д.И.1, Романенко С.В.1
1Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
Email: vak@lve.hcei.tsc.ru
Поступила в редакцию: 15 мая 2003 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2003 г.

Показано, что с помощью однослойных или двуслойных металлических пленок переходных металлов можно измерять плотность потока атомарного водорода (АВ) в условиях пониженного давления газа (10-1-10-3 Pa). Принцип измерения основан на снятии зависимости приращения сопротивления пленки, обусловленного избирательным растворением АВ в ней, от времени ее экспозиции в смешанном атомарно-молекулярном потоке и определении характеристического времени tau, равного времени достижения концентрации водорода в пленке, соответствующей 63% от предельно достижимой концентрации. Расчет плотности потока производится на основе простой математической модели процесса насыщения пленки водородом, описываемого релаксационным законом. Метод характеризуется высокой избирательной чувствительностью к АВ и позволяет измерять плотность потока атомов в смешанном атомарно-молекулярном потоке диапазоном от 5· 1013 до 1016 at.cm2·s-1.
  • Leone S. // Jpn. J. Appl. Phys. 1995. V 34. P. 2073--2082
  • Goodman R.S., Materer N., Leone S.R. // J. Vac. Sci. Technol. B. 1997. 15(4). P. 971--982
  • Bruno G., Losurdo M., Capezzuto P. // Appl. Phys. Lett. 1995. V. 66(26). P. 3573--3575
  • Сериков Л.В., Шиян Л.Н., Горбачев А.Ф. и др. // А.с. СССР N 1603257. 1998
  • Лавренко В.А. Рекомбинация атомов водорода на поверхностях твердых тел. Киев, 1973. С. 203
  • Sutoh A., Okada Y., Ohta S. et al. // Jpn. J. Appl. Phys. 1995. V. 34. P. L 1379-L 1382
  • Gordiets B.F., Pinheiro M.J., Tatarova E. et al. // Proc. of XXIV Int. Conf. On Phenomena in Ionized Gases. V. 2. P. 133. July 11--16, 1999. Warsaw, Poland
  • Bruneteau A.M., Hollos G., Bacal M. et al. // J. Appl. Phys. 1990. V. 67(12). P. 7254--7264
  • Hydrogen in Metals 2/Ed. by Alefeld G. Volkl--Springer-Verlag, 1978. 430 p
  • Fromm E., Gebhardt E. // Gases and Carbon in Metals. Springer-Verlag, 1976. 711 p
  • Взаимодействие водорода с металлами / Под ред. А.П. Захарова М.: Наука, 1987. 295 с
  • Hoffheins B.S., Maxey L.C., Holmes W. Jr. et al. // Proc. Of the U.S. DOE Hydrogen Program Review. P. 320--328
  • Cheng Y.-T., Hills R., Li Y., Lisi J. et al. // US Patent. No. 6.670.115. Sep. 23, 1997
  • Kagadei V.A., Proskurovsky D.I. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1998. V. 16(4). P. 2556--2561
  • Кагадей В.А., Нефедцев Е.В., Проскуровский Д.И. и др. // Изв. вузов. Физика. 2003 (в печати)
  • Westlake D.G., Ockers S.T., Gray W.R. // Metallurgical Transactions. 1970. V. 1. P. 1361--1364
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.