Вышедшие номера
Подвижность носителей заряда в нелегированных слоях SiC, выращенных новым методом эпитаксии на Si
Кукушкин С.А.1,2, Осипов А.В.1,2, Вчерашний Д.Б.1,2, Обухов С.А.1,2, Феоктистов Н.А.1,2
1Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: sobukhov@inbox.ru
Поступила в редакцию: 16 октября 2012 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2013 г.

Представлены первые результаты электрофизических исследований пленок карбида кремния, выращенных на кремнии новым методом эпитаксии. Определен тип носителей заряда в пленках SiC на Si и измерена их плотность и подвижность. Исследования показали, что пленки SiC на Si, выращенные данным методом, обладают n-типом проводимости. Концентрация основных носителей заряда (электронов) в нелегированных слоях пленок SiC на Si составляет в среднем n~1018 cm-3. Подвижность основных носителей заряда (электронов) для пленок изменяется в зависимости от режимов синтеза от mu=27 до 85 cm2/(V·s).