"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Кристаллизация и термохромизм в пленках оксида вольфрама, отожженных в вакууме
Шаповалов В.И.1,2, Лапшин А.Е.1,2, Комлев А.Е.1,2, Комлев А.А.1,2
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Институт химии силикатов им. И.В. Гребенщикова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Email: vishapovalov@mail.ru
Поступила в редакцию: 20 февраля 2012 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2012 г.

Приведены результаты исследования кристаллических фаз в пленках оксида вольфрама после ступенчатого отжига в вакууме и на воздухе в диапазоне температур 500-750oC. Пленки были осаждены на подложку из кварцевого стекла методом реактивного магнетронного распыления на постоянном токе. Установлено, что термохромизм в пленках обусловлен дефектной по киcлороду фазой WO3-x, относящейся к гексагональной сингонии, которая интенсивно развивается при повышении температуры отжига от 650 до 750oC.
  1. Тутов Е.А., Кукуев В.И., Баев А.А. и др. // ЖТФ. 1995. Т. 65. В. 7. С. 117--124
  2. Chiang J.-L., Jan S.-S., Chou J.-C. et al. // Sens. Actual. B. 2011. V. 76. P. 624--628
  3. Shen Y., Yamazaki T., Liu Z. et al. // Thin Solid Films. 2009. V. 517. P. 2069--2072
  4. Riecha I., Acosta M., Pena J.L. et al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2010. V. 28. P. 329--333
  5. Sauvet K., Sauques L., Rougier A. // J. Phys. Chem. Solid. 2010. V. 71. P. 696--699
  6. Sauvet K., Sauques L., Rougier A. // Sol. Energy Mater. Sol. Cells. 2009. V. 93. P. 2045--2049
  7. Sauvet K., Rougier A., Sauques L. // Sol. Energy Mater. Sol. Cells. 2008. V. 92. P. 209--215
  8. Cui H.N., Costa M.F., Teixeira V. et al. // Sur. Sci. 2003. V. 532--535. P. 1127--1131
  9. Ke M.-T., Lee M.-T., Lee C.-Y. et al. // Sensors. 2009. V. 9. P. 2895--2906
  10. Bendahan M., Boulmani R., Seguin J.L. et al. // Sens. Actuat. B. 2004. V. 100. P. 320--324
  11. Gullapalli S.K., Vemuri R.S., Ramana C.V. // Appl. Phys. Lett. 2010. V. 96. P. 171 903 (3 pp.)
  12. Bathe S.R. // Solid State Ionics. 2008. V. 179. P. 314--323
  13. Berggren L., Jonsson J.C., Niklasson G.A. // J. Appl. Phys. 2007. V. 102. P. 083 538. 7 p
  14. Karuppasamy A., Subrahmanyam A. // J. Appl. Phys. 2007. V. 101. P. 113 522. 5 p
  15. Логачева В.А., Лукин А.Н., Ховив А.М. // ЖНХ. 2007. Т. 52. N 8. С. 1284--1288
  16. Анисимов О.В., Гаман В.И., Максимова Н.К. и др. // ФТП. 2010. Т. 44. В. 3. С. 383--389
  17. Barybin A.A., Shapovalov V.I. // J. Appl. Phys. 2007. V. 101. P. 054 905
  18. Кукуев В.И., Тутов Е.А., Домашевская Э.П. // ЖТФ. 1987. Т. 65. В. 7. С. 1957--1961
  19. Kleperis J.J., Cikmach P.D., Lusis A.R. // Phys. Stat. Solid. A. 1984. V. 83. P. 291--297.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.