К решению обратной задачи рентгеновской дифракции на периодических наноструктурах InGaN/GaN/Al2O3
Красильников А.Г.1,2, Пунегов В.И.1,2, Фалеев Н.Н.1,2
1Сыктывкарский государственный университет
2Present affiliation: Rigaku MSC, New Trails Drive, The Woodlands, TX, USA
Email: punegov@syktsu.ru
Поступила в редакцию: 8 января 2004 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2004 г.
С учетом когерентного и диффузного рассеяния численно решена обратная задача рентгеновской дифракции на двух сверхрешетках Al2O3(0001)-GaN- (In0.03GaN-In0.1GaN)x5SL-AlGaN(20 nm), выращенных при близких технологических условиях. Получены детальные профили распределения деформации/состава и структурных дефектов в многослойных гетероструктурах, которые позволяют анализировать процессы эпитаксиального роста и дефектообразования в рассогласованных гетероструктурах блочного типа. Анализируются особенности дифракционного рассеяния рентгеновского излучения на таких структурах. Показано, что сходные ростовые процедуры не гарантируют получения одинаковых по структурным параметрам наномасштабных периодических систем сильно рассогласованных твердых растворов.
- Burget J., Taupin D. // Acta Cryst. 1968. V. A24. P. 99--102
- Burget J., Collela R. // J. Appl. Phys. 1969. V. 40. P. 3505--3509
- Fukuhara A., Takano Y. // Acta Cryst. 1977. V A33. P. 137--142
- Afanasev A.M., Kovalchuk M.V., Kovev E.K., Kohn V.G. // Phys. stat. sol. (a). 1977. V. 42. P. 415--422
- Kyutt R.N., Petrashen' P.V., Sorokin L.M. // Phys. stat. sol. (a). 1980. V. 60. P. 381--389
- Larson B.C., Barhorst J.F. // J. Appl. Phys. 1980. V. 51. P. 3181--3185
- Гончарский А.В., Колпаков А.В., Степанов А.А. Обратные задачи рентгеновской дифрактометрии. Рига: Латвийский университет, 1992. 181 с
- Павлов К.М., Пунегов В.И., Фалеев Н.Н. // ЖЭТФ. 1995. Т. 107. С. 1967--1982
- Пунегов В.И., Павлов К.М., Подоров С.Г., Фалеев Н.Н. // ФТТ. 1996. Т. 38. С. 264--271
- Kazimirov A., Faleev N., Temkin H., Bedzyk M.J., Dmitriev V., Melnik Yu. // J. Appl. Phys. 2001. V. 89 (11). P. 6092--6097
- Nesterets Ya.I., Punegov V.I. // Acta Cryst. A. 2000. V. 56. N 6. P. 540--548
- Афанасьев А.М., Чуев М.А., Имамов Р.М. и др. // Кристаллография. 1997. Т. 42. В. 3. С. 514--523
- Химмельблау Д. Прикладное нелинейное программирование. М.: Мир, 1975
- Фалеев Н.Н., Флакс Л.И., Баташова С.В., Мишурный В.А., Васильев В.И., Сазонов В.В. // Сб. докл. Всесоюз. конф. по физическим процессам в гетероструктурах. Калуга (Россия), 1990. Т. 1. С. 241
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук