Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Дифференциальная низкокогерентная интерферометрия для in situ диагностики прозрачных микроструктур
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия 
Email: ivanov@ipm.sci.-nnov.ru
Поступила в редакцию: 15 октября 2003 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2004 г.
Предложен и продемонстрирован новый метод дифференциального измерения профиля прозрачных структур, основанный на волоконно-оптической низкокогерентной интерферометрии. Благодаря высокой помехоустойчивости, метод может быть использован для бесконтактной in situ диагностики микроструктур в экстремальных условиях.
- Dave D.P., Milner Th.E. // Opt. Lett. 2000. V. 25. P. 227--229
- Dave D.P., Milner Th.E. // Appl. Opt. 2002. V. 41. P. 2038--2042
- Zhou Zh.-F., Zhang T., Zhou W.-D. // Appl. Opt. 2002. V. 41. P. 125--129
- Rao Y.J., Jackson D. // Measurements in Science and Technology. 1996. V. 7. P. 981--999
- Ivanov V.V., Novikov M.A. et al. // Proc. SPIE. 2002. V. 4900. P. 548--555
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
