"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Дифференциальная низкокогерентная интерферометрия для in situ диагностики прозрачных микроструктур
Иванов В.В.1, Маркелов В.А.1, Новиков М.А.1, Уставщиков С.С.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: ivanov@ipm.sci.-nnov.ru
Поступила в редакцию: 15 октября 2003 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2004 г.

Предложен и продемонстрирован новый метод дифференциального измерения профиля прозрачных структур, основанный на волоконно-оптической низкокогерентной интерферометрии. Благодаря высокой помехоустойчивости, метод может быть использован для бесконтактной in situ диагностики микроструктур в экстремальных условиях.
  1. Dave D.P., Milner Th.E. // Opt. Lett. 2000. V. 25. P. 227--229
  2. Dave D.P., Milner Th.E. // Appl. Opt. 2002. V. 41. P. 2038--2042
  3. Zhou Zh.-F., Zhang T., Zhou W.-D. // Appl. Opt. 2002. V. 41. P. 125--129
  4. Rao Y.J., Jackson D. // Measurements in Science and Technology. 1996. V. 7. P. 981--999
  5. Ivanov V.V., Novikov M.A. et al. // Proc. SPIE. 2002. V. 4900. P. 548--555

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.