Орлов Л.К.1, Хорват Ж.Й.2, Потапов А.В.1, Орлов М.Л.3, Ивин С.В.3, Вдовин В.И.4, Штейнман Э.А.5, Фомин В.М.3
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Research Institute for Technical Physics and Materials Science, Hungarian Academy of Sciences, Budapest, Hungary
3Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
4Институт химических проблем микроэлектроники, Москва, Россия
5Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия