Вышедшие номера
Распределение по размерам и концентрациям рассеивающих рентгеновское излучение центров в отожженном Cz-Si
Новиков Н.Н.1, Теселько П.А.1, Михалюк О.В.1
1Киевский национальный университет им. Тараса Шевченко, Киев, Украина
Email: peter@univ.kiev.ua
Поступила в редакцию: 21 июня 2007 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2008 г.

Выполнено рентгенодифрактометрическое исследование кинетики распада твердого раствора кислорода в кремнии, выращенном по методике Чохральского (Cz-кремнии). Отжиг образцов осуществлялся на протяжении различных промежутков времени при температуре 900oC. Предложена методика обработки рентгенодифрактометрических данных. Получены участки кривых распределения кислородосодержащих преципитатов и дислокационных петель по размерам и концентрациям. PACS: 61.10.Nz, 61.72.Cc, 61.72.Dd