Распределение по размерам и концентрациям рассеивающих рентгеновское излучение центров в отожженном Cz-Si
Новиков Н.Н.1, Теселько П.А.1, Михалюк О.В.1
1Киевский национальный университет им. Тараса Шевченко, Киев, Украина
Email: peter@univ.kiev.ua
Поступила в редакцию: 21 июня 2007 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2008 г.
Выполнено рентгенодифрактометрическое исследование кинетики распада твердого раствора кислорода в кремнии, выращенном по методике Чохральского (Cz-кремнии). Отжиг образцов осуществлялся на протяжении различных промежутков времени при температуре 900oC. Предложена методика обработки рентгенодифрактометрических данных. Получены участки кривых распределения кислородосодержащих преципитатов и дислокационных петель по размерам и концентрациям. PACS: 61.10.Nz, 61.72.Cc, 61.72.Dd
- В.В. Немошкаленко, В.Б. Молодкин, С.И. Олиховский, Е.Н. Кисловский, Т.А. Грищенко, М.Т. Когут, М.В. Ковальчук, С.И. Харатьян, Г.В. Гринь. Металлофизика 15, 11, 53 (1993)
- E.N. Kislovskii, S.I. Olikhovskii, V.B. Molodkin, E.G. Len, E.V. Pervak. Phys. Stat. Sol. (b) 231, 213 (2002)
- P. Zaumseil, U. Winter, F. Cembali, M. Servidori, Z. Sourek. Phys. Stat. Sol. (a) 100, 95 (1987)
- В.Б. Молодкин, В.В. Немошкаленко, С.И. Олиховский, Е.Н. Кисловский, О.В. Решетник, И.П. Владимирова, В.П. Кривицкий, В.Ф. Мачулин, И.В. Прокопенко, Дж.Е. Айс, Б.К. Ларсон. Металлофизика и новейшие технологии 20, 11, 29 (1998)
- Е.М. Кисловский, С.И. Олiховський, В.Б. Молодкiн, Е.Г. Лень, Т.П. Владiмiрова. Металлофизика и новейшие технологии 22, 7, 21 (2000)
- H. Bender. Phys. Stat. Sol. (a) 86, 245 (1984)
- Н.Н. Новиков, П.О. Теселько, О.В. Михалюк. ФТТ 49, 208 (2007)
- J.R. Patel. J. Appl. Phys. 44, 3903 (1973)
- J.R. Patel. J. Appl. Cryst. 8, 186 (1975)
- B.C. Larson. J. Appl. Cryst. 8, 150 (1975)
- P.H. Dederichs. Phys. Rev. B 4, 1041 (1971)
- М.А. Кривоглаз. Дифракция рентгеновских лучей и нейтронов в неидеальных кристаллах. Наук. думка, Киев (1983). 408 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
