Издателям
Вышедшие номера
Начальные стадии образования фуллереновой пленки на кремниевой подложке
Бирюлин Ю.Ф.1, Вуль А.Я.1, Ионова И.К.1, Коньков О.И.1, Макарова Т.Л.1, Михеев В.П.1, Саксеев Д.А.1, Теруков Е.И.1, Шульбах В.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 11 января 1995 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1995 г.

Начальные стадии формирования пленки фуллерена на кремниевой подложке ориентации (100) были изучены методами эллипсометрии, электронной оже-спектроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, вторично-ионной масс-спектроскопии и растровой электронной микроскопии. Пленки были получены термическим испарением фуллеренов из фуллеренсодержащей сажи. Установлено, что структуру фуллереновой пленки на кремниевой подложке можно описать в рамках модели, содержащей три слоя: переходный слой на границе с кремнием, собственно фуллереновая пленка, поверхностный слой на ней. Предполагается, что обнаруженный обогащенный кислородом поверхностный слой толщиной 20 nm представляет собой продукт взаимодействия кислорода с молекулами фуллерена. Исследования процессов формирования фуллереновой пленки показали, что рост пленки начинается с образования островков размером 20--40 nm, при этом начальная стадия роста состоит в увеличении на подложке концентрации островков неизменного размера. Сформировавшаяся структура сохраняется в виде неоднородного переходного слоя на гетерогранице.
  1. Елецкий А.В., Смирнов Б.М. УФН \bf 163, \it 2, 33 (1993)
  2. Козырев С.В., Роткин В.В. ФТП \bf 27, \it 9, 1409 (1993)
  3. Haned A., Sun Y.Y., Tao Y.K., Meng R.L., Hog P.H. Phys. Rev. \bf B47, 10873 (1993)
  4. Lee C.H., Moses G.Yu.D., Heeger A.J. Appl. Phys. Lett. \bf 65, \it 6, 664 (1994)
  5. Koenenkamp R., Erxmeyer J., Weidinger A. Appl. Phys. Lett. \bf 65, \it6, 758 (1994)
  6. Makarova T.L., Biryulin Yu.F., Vul' A.Ya., Konkov O.I. Proc. of the Symposium on recent advances in the chemistry and physics of fullerences and related materials. 18th Meeting of the Electrochemical Society. San Francisco (May 22--27 1994). P. 1670
  7. Kraetschmer W., Lamb L.D., Fostiropoulos K., Huffmann D.R. Nature \bf 347, 354 (1990)
  8. Вуль А.Я., Макарова Т.Л., Осипов В.Ю., Зинчик Ю.С., Бойцов С.И. ФТП \bf 26, \it 1, 111 (1992)
  9. Ren S.L., Wang Y., Rao A.M., Mcrae E., Holden J.M., Hager T., Kai-An Wang, Wen-Tse Lee, Ni H.F., Selegue J., Eklund P.C. Appl. Phys. Lett. \bf 59, 2678 (1991)
  10. Kelly M.K., Etchegoin P., Fuchs D., Kraetschmer W., Fostiropoulos K. Phys. Rev. \bf B46, \it 8, 4963 (1992)
  11. Patrini M., Marabelli F., Guizzetti G., Manfredini M., Castoldi C., Milani P. Proc. of the Symposium on recent advances in the chemistry and physics of fullerenes and related materials. 18th Meeting of the Electrochemical Society. San Francisco (May 22--27 1994). P. 632

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.