Вышедшие номера
Гетероэпитаксия пленок GexSi1-x (x~0.4-0.5) на подложках Si(001), отклоненных к (111): формирование только коротких краевых дислокаций несоответствия в направлении отклонения
Болховитянов Ю.Б.1, Дерябин А.С.1, Гутаковский А.К.1, Соколов Л.В.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: bolkhov@isp.ncs.ru
Поступила в редакцию: 27 апреля 2009 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2009 г.

Исследовалась ралаксация механических напряжений несоответствия в эпитаксиальных пленках GexSi1-x (x~0.4-0.5), выращиваемых методом молекулярной эпитаксии на подложках Si, отклоненных от точной ориентации (001) на угол 6o. Рассмотрены возможные варианты наведенного зарождения и взаимодействия 60o дислокаций несоответствия (ДН), распространяющихся в направлении отклонения с образованием отрезков коротких краевых ДН, проведена их классификация и приведены экспериментально обнаруженные с помощью ПЭМ различные формы таких конфигураций. Показано, что образование коротких краевых ДН происходит по двум различным механизмам: A - коррелированное или наведенное зарождение комплементарной 60o дислокационной полупетли и затем образование отрезка краевой дислокации; B - образование 90o сегмента ДН при пересечении уже существующих комплементарных 60o ДН, скользящих в противоположно наклонных плоскостях 111. Показана неэквивалентность взаимодействия 60o ДН, распространяющихся в противоположных направлениях вдоль направления отклонения подложки.
  1. E.P. Kvam, D.M. Maher, C.J. Humpreys. J. Mater. Res. 5, 1900 (1990)
  2. T.J. Gosling. J. Appl. Phys. 74, 5415 (1993)
  3. Yu.B. Bolkhovityanov, A.S. Deryabin, A.K. Gutakovskii, L.V. Sokolov. Appl. Phys. Lett. 92, 131 901 (2008)
  4. Yu.B. Bolkhovityanov, A.S. Deryabin, A.K. Gutakovskii, L.V. Sokolov. J. Cryst. Growth 310, 3422 (2008)
  5. Ю.Б. Болховитянов. А.К. Гутаковский, А.С. Дерябин, Л.В. Соколов. ФТТ 50, 1783 (2008)
  6. J.W. Matthews, A.E. Blakeslee. J. Cryst. Growth 27, 118 (1974)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.