Гетероэпитаксия пленок GexSi1-x (x~0.4-0.5) на подложках Si(001), отклоненных к (111): формирование только коротких краевых дислокаций несоответствия в направлении отклонения
Болховитянов Ю.Б.1, Дерябин А.С.1, Гутаковский А.К.1, Соколов Л.В.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: bolkhov@isp.ncs.ru
Поступила в редакцию: 27 апреля 2009 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2009 г.
Исследовалась ралаксация механических напряжений несоответствия в эпитаксиальных пленках GexSi1-x (x~0.4-0.5), выращиваемых методом молекулярной эпитаксии на подложках Si, отклоненных от точной ориентации (001) на угол 6o. Рассмотрены возможные варианты наведенного зарождения и взаимодействия 60o дислокаций несоответствия (ДН), распространяющихся в направлении отклонения с образованием отрезков коротких краевых ДН, проведена их классификация и приведены экспериментально обнаруженные с помощью ПЭМ различные формы таких конфигураций. Показано, что образование коротких краевых ДН происходит по двум различным механизмам: A - коррелированное или наведенное зарождение комплементарной 60o дислокационной полупетли и затем образование отрезка краевой дислокации; B - образование 90o сегмента ДН при пересечении уже существующих комплементарных 60o ДН, скользящих в противоположно наклонных плоскостях 111. Показана неэквивалентность взаимодействия 60o ДН, распространяющихся в противоположных направлениях вдоль направления отклонения подложки.
- E.P. Kvam, D.M. Maher, C.J. Humpreys. J. Mater. Res. 5, 1900 (1990)
- T.J. Gosling. J. Appl. Phys. 74, 5415 (1993)
- Yu.B. Bolkhovityanov, A.S. Deryabin, A.K. Gutakovskii, L.V. Sokolov. Appl. Phys. Lett. 92, 131 901 (2008)
- Yu.B. Bolkhovityanov, A.S. Deryabin, A.K. Gutakovskii, L.V. Sokolov. J. Cryst. Growth 310, 3422 (2008)
- Ю.Б. Болховитянов. А.К. Гутаковский, А.С. Дерябин, Л.В. Соколов. ФТТ 50, 1783 (2008)
- J.W. Matthews, A.E. Blakeslee. J. Cryst. Growth 27, 118 (1974)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.