Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Текстура тонких пленок нитрида алюминия, полученных методом магнетронного распыления
РНФ, 23-12-20010
1Омский государственный университет им. Ф.М. Достоевского, Омск, Россия 
2Институт радиофизики и физической электроники ОНЦ СО РАН, Омск, Россия
2Институт радиофизики и физической электроники ОНЦ СО РАН, Омск, Россия
Email: baranova@omsu.ru
Поступила в редакцию: 6 мая 2025 г.
В окончательной редакции: 16 июня 2025 г.
Принята к печати: 17 июля 2025 г.
Выставление онлайн: 16 сентября 2025 г.
Представлены результаты исследования текстуры тонких пленок нитрида алюминия, полученных методом магнетронного распыления. Исследована зависимость размеров и степени преимущественной ориентации кристаллитов от условий формирования тонких пленок (давления, мощности разряда, состава плазмообразующего газа). Ключевые слова: пленки нитрида алюминия, магнетронное распыление, текстура, размер области когерентного рассеяния.
- A.L. Hickman, R. Chaudhuri, S.J. Bader, K. Nomoto, L. Li, J.C.M. Hwang, H.G. Xing, D. Jena, Semicond. Sci. Technol., 36, 044001 (2021). DOI: 10.1088/1361-6641/abe5fd
- В.В. Кириленко, В.М. Жигарновский, В.К. Павловский, И.П. Маркелова, А.В. Михайлов, Г.А. Муранова, Опт. журн., 75 (12), 50 (2008). [V.V. Kirilenko, B.M. Zhigarnovskivi, V.K. Pavlovskivi, I.P. Markelova, A.V. Mikhavi lov, G.A. Muranova, J. Opt. Technol., 75 (12), 800 (2008). DOI: 10.1364/JOT.75.000800]
- M.K. Sandager, C. Kjelde, V. Popok, Crystals, 12, 1379 (2022). DOI: 10.3390/cryst12101379
- С.В. Зайцев, С.В. Ващилин, Д.С. Прохоренко, В.М. Нарцев, Е.И. Евтушенко, Огнеупоры и техническая керамика, N 7-8, 15 (2014)
- A. Iqbal, F. Mohd-Yasin, Sensors, 18, 1797 (2018). DOI: 10.3390/s18061797
- G.F. Iriarte, J.G. Rodriguez, F. Calle, Mater. Res. Bull., 45, 1039 (2010). DOI: 10.1016/j.materresbull.2010.05.035
- B. Riah, J. Camus, A. Ayad, M. Rammal, R. Zernadji, N. Rouag, M.A. Djouadi, Coatings, 11, 1063 (2021). DOI: 10.3390/coatings11091063
- A. Ababneh, A.M.K. Dagamseh, Z. Albataineh, M. Tantawi, Q.M. Al-Bataineh, M. Telfah, T. Zengerle, H. Seidel, Microsyst. Technol., 27, 3149 (2021). DOI: 10.1007/s00542-020-05081-4
- Р.М. Закирова, Н.А. Прошутин, И.В. Федотова, А.С. Аналыкин, П.Н. Крылов, Химическая физика и мезоскопия, 26 (3), 395 (2024). DOI: 10.62669/17270227.2024.3.34
- А.Л. Каменева, Вопросы материаловедения, N 3 (83), 122 (2015)
- L.V. Baranova, B.T. Baisova, V.I. Strunin, in 2023 IEEE XVI Int. Scientific and Technical Conf. on Actual Problems of Electronic Instrument Engineering (APEIE) (IEEE, 2023), p. 140--143. DOI: 10.1109/APEIE59731.2023.10347673
- L.V. Baranova, V.I. Strunin, B.T. Baysova, N.A. Chirikov, High Energy Chem., 57, S7 (2023). DOI: 10.1134/S0018143923070056
- L. Baranova, B. Baysova, V. Strunin, J. Phys.: Conf. Ser., 2270, 012044 (2022). DOI: 10.1088/1742-6596/2270/1/012044
- V.I. Strunin, B.T. Baisova, L.V. Baranova, High Energy Chem., 58, S429 (2024). DOI: 10.1134/S0018143924701297
