Влияние условий магнетронного распыления при осаждении покрытий (BaSrCa)CO3 на термоэлектронную эмиссию пленочных микрокатодов
Жабин Г.А.
1, Пелипец О.В.
1, Шарапов Н.А.
11АО "НПП "Исток" им. Шокина", Фрязино, Московская обл., Россия
Email: zhabingennady@yandex.ru
Поступила в редакцию: 6 декабря 2023 г.
В окончательной редакции: 22 февраля 2024 г.
Принята к печати: 9 марта 2024 г.
Выставление онлайн: 2 мая 2024 г.
Экспериментально исследовано влияние температуры и мощности разряда ионно-плазменного осаждения молекулярно-напыленных оксидных микрокатодов на их эмиссионную активность. С применением оже-электронной спектроскопии и рентгенофлуоресцентного анализа изучен элементный состав тонкого покрытия таких микрокатодов. Продемонстрировано воздействие атмосферы и остаточных газов на их работу. Ключевые слова: молекулярно-напыленный оксидный микрокатод, эмиссионные характеристики, срок службы, работа выхода, электровакуумный прибор.
- D.M. Kirkwood, S.J. Gross, T.J. Balk, M.J. Beck, IEEE Trans. Electron Dev., 65 (6), 2061 (2018). DOI: 10.1109/TED.2018.2804484
- M.N. Seif, Q. Zhou, X. Liu, T.J. Balk, M.J. Beck, IEEE Trans. Electron Dev., 69 (7), 3513 (2022). DOI: 10.1109/TED.2022.3172052
- Y. Liu, C.M. Day, S.A. Little, F. Jin, J. Vac. Sci. Technol. A, 24 (6), 2187 (2006). DOI: 10.1116/1.2363400
- L. Lin, R. Jacobs, S.D. Marks, P.G. Evans, D. Morgan, J. Booske, in IEEE 21st Int. Conf. on vacuum electronics (IVEC) (IEEE, 2020), p. 161--162. DOI: 10.1109/IVEC45766.2020.9520630
- K.R. Zavadil, D.B. King, J.A. Ruffner, AIP Conf. Proc., 552 (1), 1165 (2001). DOI: 10.1063/1.1358067
- Г.А. Жабин, А.В. Коннов, Прикладная физика, N 2, 77 (2023). DOI: 10.51368/1996-0948-2023-2-77-83
- A.N.H. Al-Ajili, A.K. Ray, J.R. Travis, S.N.B. Hodgson, A.P. Baker, C.J. Goodhand, J. Mater. Sci.: Mater. Electron., 11 (6), 489 (2000). DOI: 10.1023/A:1008916501674
- А.Б. Киселев, Металлооксидные катоды электровакуумных приборов (Изд-во МФТИ, М., 2001)
- Д.М. Митин, В.А. Александров, А.А. Скапцов, С.Б. Вениг, А.А. Сердобинцев, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 6, 31 (2015). DOI: 10.7868/S0207352815060177 [D.M. Mitin, V.A. Aleksandrov, A.A. Skaptsov, S.B. Venig, A.A. Serdobintsev, J. Surf. Investig., 9 (3), 555 (2015). DOI: 10.1134/S1027451015030313]
- Б.Я. Мойжес, Физические процессы в оксидном катоде (Наука, М., 1968)
- В.И. Капустин, И.П. Ли, А.С. Серпичев, А.В. Шуманов, Н.Е. Кожевникова, ЖТФ, 92 (3), 472 (2022). DOI: 10.21883/JTF.2022.03.52143.211-21 [V.I. Kapustin, I.P. Li, A.S. Serpichev, A.V. Shumanov, N.E. Kozhevnikova, Tech. Phys., 67 (3), 376 (2022). DOI: 10.21883/TP.2022.03.53270.211-21]
- В.И. Капустин, И.П. Ли, Н.Е. Кожевникова, Э.Ф. Худайгулова, Рос. технол. журн., 10 (6), 60 (2022). DOI: 10.32362/2500-316X-2022-10-6-60-69
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.