Вышедшие номера
Воздействие импульсного тлеющего разряда атмосферного давления на алюминиевые пленки нанометровой толщины
Academic Excellence Project 5-100 СПбПУ Петра Великого
Емельянов О.А. 1, Плотников А.П. 1, Феклистов Е.Г. 1
1Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
Email: oaemel2@gmail.com
Поступила в редакцию: 4 сентября 2020 г.
В окончательной редакции: 26 ноября 2020 г.
Принята к печати: 2 декабря 2020 г.
Выставление онлайн: 12 января 2021 г.

Исследовано воздействие положительного импульсного коронного разряда на поверхность тонкопленочного катода в воздухе атмосферного давления для промежутков 2-8 mm при напряжении 5-15 kV с частотой следования импульсов 10-15 kHz, амплитудой и длительностью импульса тока 10-20 mA и 300-500 ns соответственно. Показано, что при относительно малых средних токах 20-50 μA вблизи катода разряд трансформируется в тлеющий. Вследствие контрагирования разряда на поперечном масштабе порядка 1 μm джоулев разогрев формируемого катодного слоя может достигать величин порядка 1000 K и вызывать локальную эрозию поверхности катода. Указанный механизм необходимо учитывать при анализе эффектов взаимодействия плазмы разряда с биологическими объектами. Ключевые слова: тлеющий разряд атмосферного давления, холодная плазма, катодное пятно, стример.
  1. Ю.К. Стишков, А.В. Самусенко, И.А. Ашихмин, УФН, 188 (12), 1331 (2018)
  2. A. Abahazem, A. Mraihi, N. Merbahi, M. Yousfi, O. Eichwald, IEEE Trans. Plasma Sci., 39 (11), 2230 (2011)
  3. M.J. Johnson, R. Tirumala, D.B. Go, J. Electrostat., 74, 8 (2015)
  4. E. Sysolyatina, A. Mukhachev, M. Yurova, M. Grushin, V. Karalnik, A. Petryakov, N. Trushkin, S. Ermolaeva, Yu. Akishev, Plasma Process. Polym., 11, 315 (2014)
  5. О.А. Емельянов, Н.О. Петрова, Н.В. Смирнова, М.В. Шемет, Письма в ЖТФ, 43 (16), 30 (2017)
  6. Ю.П. Райзер, Физика газового разряда (Интеллект, М., 2009)
  7. A. Luque, V. Ratushnaya, U. Ebert, J. Phys. D: Appl. Phys., 41 (23), 234005 (2008)
  8. N. Babaeva, W. Tian, M.J. Kushner, J. Phys. D: Appl. Phys., 47 (23), 235201 (2014)
  9. M. vCernak, T. Hoder, Z. Bonaventura, Plasma Sources Sci. Technol., 29 (1), 013001 (2020)
  10. А.А. Кудрявцев, А.С. Смирнов, Л.Д. Цендин, Физика тлеющего разряда (Лань, СПб., 2010)
  11. В.С. Голубев, С.В. Пашкин, Тлеющий разряд повышенного давления (Наука, М., 1990)
  12. D.Z. Pai, D.A. Lacoste, C.O. Laux, J. Appl. Phys., 107 (9), 093303 (2010)
  13. К.И. Алмазова, А.Н. Белоногов, В.В. Боровков, В.С. Курбанисмаилов, Г.Б. Рагимханов, А.А. Тренькин, Д.В. Терешонок, З.Р. Халикова, Письма в ЖТФ, 46 (15), 10 (2020)
  14. А.А. Тренькин, К.И. Алмазова, А.Н. Белоногов, В.В. Боровков, Е.В. Горелов, И.В. Морозов, С.Ю. Харитонов, ЖТФ, 91 (2), 255 (2021)
  15. И.Г. Кесаев, Катодные процессы электрической дуги (Наука, М., 1968)
  16. В.И. Орешкин, С.А. Баренгольц, С.А. Чайковский, ЖТФ, 77 (5), 108 (2007),
  17. Yu. Akishev, V. Karalnik, I. Kochetov, A. Napartovich, N. Trushkin, Plasma Sources Sci. Technol., 23 (5) 054013 (2014)
  18. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой, под ред. Р. Бериша (Мир, М., 1984), т. 1
  19. O.A. Emelyanov, E.G. Feklistov, N.V. Smirnova, K.A. Kolbe, E.V. Zinoviev, M.S. Asadulaev, A.A. Popov, A.S. Shabunin, K.F. Osmanov, in Proc. of the Int. Conf. on advances and applications in plasma physics (AAPP 2019), ed. by M. Tendler, V. Rozhansky, P. Goncharov, A. Kravchuk. AIP Conf. Proc., 2179 (1), 20006 (2019). DOI: 10.1063/1.5135479

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.