Вышедшие номера
Диэлектрические потери в MPCVD-алмазах в полосах частот 25-30 и 250-350 GHz в зависимости от параметров процесса роста
Переводная версия: 10.1134/S106378501811007X
Гарин Б.М.1, Паршин В.В.2, Серов Е.А.2, Николенко А.С.2, Лю Я.Ц.3, Дин М.Х.3, Тан В.Чж.3
1Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Фрязино, Россия
2Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
3Университет науки и технологии Пекина, Пекин, Китай
Email: bormigar@yandex.ru
Поступила в редакцию: 23 марта 2018 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2018 г.

Проведено комплексное систематическое исследование влияния различных параметров процесса роста CVD-алмазов в микроволновой плазме (MPCVD-алмазов), таких как температура подложки, химический состав газовой смеси и др., на диэлектрические потери в двух частотных полосах (25-30 и 250-350 GHz) более чем для десяти образцов различных серий. Выявлена корреляция между величинами потерь в этих двух полосах частот.
  1. Thumm M. // Plasma Phys. Control. Fusion. 2003. V. 45. N 12A. P. A143-A161
  2. Schreck S., Aiello G., Meier A., Strauss D., Gagliardi M., Saibene G., Scherer T. // Fusion Eng. Design. 2016. V. 109-111. Pt B. P. 1232-1236
  3. Delgado D., Vila R. // J. Nucl. Mater. 2014. V. 452. N 1-3. P. 218-222
  4. Antipov S.P., Baryshev S.V., Butler J.E., Jing C., Kanareykin A.D., Schoessow P., Conde M., Gai W., Power J.G., Stoupin S. // Diamond Relat. Mater. 2015. V. 54. N 1. P. 15-18
  5. Паршин В.В., Гарин Б.М., Мясникова С.Е., Орленеков А.В. // Изв. вузов. Радиофизика. 2004. Т. XLVII. N 12. С. 1087-1095
  6. Chernov V.V., Gorbachev A.M., Vikharev A.L., Lobaev M.A. // Phys. Status Solidi A. 2016. V. 213. N 10. P. 2564-2569
  7. Liu Y.Q., Ding M.H., Su J.J., Ren H., Lu X.R., Tang W.Z. // Diamond Relat. Mater. 2017. V. 73. P. 114-120
  8. Janezic M.D., Kuester E.F., Jarvis J.B. Broadband complex permittivity measurements of dielectric substrates using a split-cylinder resonator // 2004 IEEE MTT-S Int. Microwave Symp. Digest. IEEE, 2004. P. 1817-1820
  9. Parshin V.V., Tretyakov M.Yu., Koshelev M.A., Serov E.A. // IEEE Sensors J. 2013. V. 13. N 1. P. 18-23. DOI: 10.1109/JSEN.2012.2215315
  10. Гарин Б.М. // ФТТ. 1990. Т. 32. В. 11. С. 3314-3321
  11. Моченева О.С., Паршин В.В. // Изв. вузов. Радиофизика. 2007. Т. L. N 12. С. 1084-1057

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.