Экспериментальное определение положения потолка валентной зоны в a-Al2O3 и gamma-Al2O3
Конюшенко М.А.1, Филатова Е.О.1, Конашук А.С.1, Нелюбов А.В.1, Шулаков А.С.1
1Санкт-Петербургский государственный университет
Email: marinakony@yandex.ru
Поступила в редакцию: 6 мая 2015 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2015 г.
Представлено исследование методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии энергетического распределения заполненных состояний валентной зоны и определение положения ее потолка в пленках a-Al2O3 и gamma-Al2O3, синтезированных методом молекулярного наслаивания (МН) на кремниевой подложке. Установлен сдвиг потолка валентной зоны gamma-Al2O3 на 0.8 eV в сторону больших энергий связи по отношению к аморфному Al2O3.
- Afanas'ev V.V., Houssa M., Stesmans A., Merckling C., Schram T. et al. // Appl. Phys. Lett. 2011. V. 99. P. 072 103
- Gusev E.P., Cartier E., Buchanan D.A., Gribelyuk M., Copel M., Okorn-Schmidt H., D'Emic C. // Microelectron. Eng. 2001. V. 59. P. 341--349
- Filatova E.O., Taracheva E.Yu., Sokolov A.A., Bukin S.V., Shulakov A.S., Jonnard P., Andre J.-M., Drozd V.E. // X-Ray Spectrom. 2006. V. 35. P. 359--364
- Перевалов Т.В., Гриценко В.А. // УФН. 2010. T. 180. N 6. P. 588--603
- Toyoda S., Shinohara T., Kumigashira H., Oshima M., Kato Y. // Appl. Phys. Lett. 2012. V. 101. P. 231 607
- Afanas'ev V.V., Houssa M., Stesmans A., Heyns M.M. // J. Appl. Phys. 2002. V. 91. P. 3079
- Aguilar-Frutis M., Garcia M., Falcony C. // Appl. Phys. Lett. 1998. V. 72. P. 1700
- Momida H., Hamada T., Takagi Y., Yamamoto T., Uda T., Ohno T. // Phys. Rev. B. 2006. V. 73. P. 054 108
- Puurunen R.L. Doctoral diss. "Preparation by Atomic Layer Deposition and characterization of catalyst supports surfaced with aluminum nitride". 2002
- NIST X-ray Photoelectron Spectroscopy Database, http://srdata.nist.gov
- Edy R., Huang X., Guo Y., Zhang J., Shi J. // Nanoscale Res. Lett. 2013. V. 8. P. 79
- Перевалов Т.П., Шапошников А.В., Гриценко В.А., Вонг Х., Хан Ж.Х., Ким Ч.В. // Письма в ЖЭТФ. 2007. T. 85. P. 197--201
- Xu Y.-N., Ching W.Y. // Phys. Rev. B. 1991. V. 43. N 5. P. 4461--4472
- Snijder P.C., Jeurgens L.P.H., Sloof W.G. // Surf. Sci. 2002. V. 496. P. 97--109
- Jung R., Noh T.-W., So Y.-W., Oh S.-J., Lee J.C., Shin H.-J. // Appl. Phys. Lett. 2003. V. 83. N 25. P. 5226--5228
- Rider A.N., Lamb R.N., Koch M.H. // Surf. Interface Anal. 2001. V. 31. P. 302--312
- Lee M.-H., Cheng C.-F., Heine V., Klinowski J. // Chem. Phys. Lett. 1997. V. 265. P. 673--676
- Davis S., Gutierrez G. // J. Phys.: Condens. Matter. 2011. V. 23. P. 495 401--495 409
- Thomas S., Sherwood P.M.A. // Anal. Chem. 1992. V. 64. P. 2488--2495
- Chambers S.A., Droubay T., Kaspar T.C., Gutowski M., van Schilfgaarde M. // Surf. Sci. 2004. V. 554. P. 81--89
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук