Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Локализация атомов углерода и протяженные нарушения в кремнии, имплантированном ионами C⁺, B⁺ и совместно C⁺ и B⁺

Jadan М.¹, Челядинский А.Р.², Оджаев В.Б.²

¹Tafila Technical University, Tafila, Jordan
²Белорусский государственный университет, Минск, Республика Беларусь Belarusian State University, Minsk, Republic of Belarus

Belarusian State University, Minsk, Republic of Belarus

Email: muhanad_jadan@yahoo.com

Поступила в редакцию: 18 июня 2012 г.

Выставление онлайн: 20 января 2013 г.

PDF версия

Показана возможность управления локализацией внедряемого углерода по узлам и междоузлиям в кремнии непосредственно во время имплантации. Методом просвечивающей электронной микроскопии исследовано образование остаточных протяженных нарушений в кремнии, имплантированном ионами С⁺, B⁺ и совместно ионами С⁺ и В⁺. Установлено, что формирование остаточных нарушений может быть подавлено благодаря аннигиляции точечных дефектов на атомах C (эффект Воткинса). Положительный эффект достигается при локализации внедряемого углерода по узлам решетки, что обеспечивается его имплантацией с эффективной плотностью тока сканирующего пучка ионов не ниже 1.0 muA·cm^-2.

R. Liefting. IEEE Trans. Electron Dev. ED-41, 50 (1994)
R. Jones, T.A.G. Eberliein, N. Pinho, B.J. Coomer, J.P. Goss., P.R. Briddon, S. Oberg. Nucl. Instr. Meth. B 186, 10 (2002)
К.В. Феклистов. Л.И. Федина, А.Г. Черков. ФТП. 44, 302 (2010)
H. Wong, N.W. Cheung, P.K. Chu, J. Liu, J.W. Appl. Phys. Lett. 52, 1023 (1988)
J.R. Liefting, J.S. Custer, F.W. Saris. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 235, 179 (1992)
T.W. Simpson, R.D. Goldberg, I.V. Mitchell. Appl. Phys. Lett. 67, 2857 (1995)
J.C. North, W.M. Gibson. Appl. Phys. Lett. 16, 126 (1970)
L.E. Eriksson, J.A. Davis, J.E. Denhartog. Can. Nucl. Tech. 5, 40 (1966)
F. Cristiano, C. Bonafos, A. Nejim, S. Lombardo, D. Omrim Alquier, A. Martinez, S.U. Campisano, P.L.F. Hemment, A. Claverie. Nucl. Instr. Meth. B. 127--128, 22 (1997)
N.E.B. Cowern, W. Vandervorst. Appl. Phys. Lett. 68, 1150 (1996)
G.D. Watkins, K.L. Brower. Phys. Rev. Lett. 36, 1329 (1976)
G.D. Watkins. In: Radiation damage and defects in semiconductors: Proc. of Intern. Conf. Reading. England. 1972. Conf. Ser. Inst. of Phys. N 16. Institute of Physics. London (1973). P. 228
G.D. Watkins, J.R. Troxell. Phys. Rev. Letts. 44, 593 (1980)
В.И. Плебанович, А.И. Белоус, А.Р. Челядинский, В.Б. Оджаев. ФТТ. 50, 1378 (2008)
J.K. Hirvonen, F.H. Eisen. Appl. Phys. Lett. 19, 14 (1971)
M. Jadan, N.I. Berezhnov, A.R. Chelyadinskii. Phys. Status Solidi. B 189, 1 (1995 K1)
В.Ф. Стельмах, В.Д. Ткачев, А.Р. Челядинский. ФТТ. 20, 2196 (1978)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель