Внутренние механические напряжения, термодинамические и адгезионные параметры в системе металлический конденсат-монокристаллический кремний
Выставление онлайн: 19 июня 2012 г.
C помощью консольного метода экспериментально исследована кинетика формирования внутренних механических напряжений sigma(d) в тонких пленках хрома, меди, золота и алюминия на кремниевых монокристаллических подложках при различных скоростях осаждения. Обнаружен двухстадийный характер изменений внутренних напряжений растягивающего типа. Установлены закономерности формирования максимального уровня механических напряжений в исследуемых конденсатах. С применением макроскопических методов физики поверхности исследованы энергетические и адгезионные параметры в нанослоях хрома, меди, золота и алюминия на подложках кремния, германия и никеля. Получены значения межфазной энергии, межфазового натяжения, работы адгезии, межфазного заряда и новой энергетической характеристики межфазного слоя - энергии адгезии этих связей, которая превалирует над межфазной энергией.
- M. Pletea, W. Bruckner, H. Wendrock, R. Kaltofen. J. Appl. Phys. 97, 4908 (2005)
- В.М. Юзевич, Б.П. Коман. Металлофизика и новейшие технологии 25, 747 (2003)
- B.W. Sheldon, K.H.A. Lau, A. Rajamani. J. Appl. Phys. 90, 5097 (2001)
- M. Langier. Thin Solid Films 112, 213 (1984)
- В.В. Скороход, I.В. Уварова, А.В. Рагуля. Фiзико-хiмiчна кiнетика в наноструктурних системах. Академперiодика, Киiв (2001). 180 с
- М.Н. Магомедов. ФТТ, 46, 924 (2004)
- Технология тонких пленок. Справочник / Под ред. А. Майсела, П. Глэнга. Сов. радио, М. (1977). Т. 1. 631 с
- В.С. Ефремов. Способ измерения перемещений. А.с. N 329386 (СССР). Опубл. в Б.И. N 7 : 154 (1982)
- M. Jande, O. Stefan. Thin Solid Films 112, 127 (1984)
- Б.П. Коман, Ж.Г. Юхимюк. Устройство для измерения толщины напыляемой пленки. А.с. ©1461127 (СССР). Опубл. в Б.И. N 7 : 74 (1989)
- Ж.Г. Юхимюк, В.Г. Костышин, Б.П. Коман. Емкостный датчик для измерения толщины напыляемой пленки. А.с. N 1366872 (СССР). Опубл. в Б.И. N 3 : 135 (1988)
- Л. Паулинг. Природа химической связи. Госхимиздат, М.-Л. (1947). 234 с
- В.М. Юзевич, П.М. Сопрунюк. Дiагностика матерiалiв i середовищ. Енергетичнi характеристики поверхневих шарiв. ФМI iм. Г.В. Карпенка НАН Украiни, Львiв (2005). 292 с
- Таблицы физических величин. Справочник. Атомиздат, М. (1976). 1006 с
- К.А. Бынков, В.С. Ким, В.М. Кузнецов. Поверхностная энергия ГЦК-металлов. Препринт ТНЦ СО АН СССР N 48. Томск (1989). 34 с
- N. Eustathopoulus, J.-C. Joud. Current Topics in Mater. Sci. 4, 281 (1980)
- R.G. Linford. Solid State Surface Sci., 2, 1 (1973)
- Н.Н. Боголюбов, Ю.А. Митропольский. Асимптотические методы в теории нелинейных колебаний. Наука, М. (1974). 504 с.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук