Вышедшие номера
Внутренние механические напряжения, термодинамические и адгезионные параметры в системе металлический конденсат-монокристаллический кремний
Коман Б.П., Юзевич В.Н.
Поступила в редакцию: 2 августа 2011 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2012 г.

C помощью консольного метода экспериментально исследована кинетика формирования внутренних механических напряжений sigma(d) в тонких пленках хрома, меди, золота и алюминия на кремниевых монокристаллических подложках при различных скоростях осаждения. Обнаружен двухстадийный характер изменений внутренних напряжений растягивающего типа. Установлены закономерности формирования максимального уровня механических напряжений в исследуемых конденсатах. С применением макроскопических методов физики поверхности исследованы энергетические и адгезионные параметры в нанослоях хрома, меди, золота и алюминия на подложках кремния, германия и никеля. Получены значения межфазной энергии, межфазового натяжения, работы адгезии, межфазного заряда и новой энергетической характеристики межфазного слоя --- энергии адгезии этих связей, которая превалирует над межфазной энергией.
  1. M. Pletea, W. Bruckner, H. Wendrock, R. Kaltofen. J. Appl. Phys. 97, 4908 (2005)
  2. В.М. Юзевич, Б.П. Коман. Металлофизика и новейшие технологии 25, 747 (2003)
  3. B.W. Sheldon, K.H.A. Lau, A. Rajamani. J. Appl. Phys. 90, 5097 (2001)
  4. M. Langier. Thin Solid Films 112, 213 (1984)
  5. В.В. Скороход, I.В. Уварова, А.В. Рагуля. Фiзико-хiмiчна кiнетика в наноструктурних системах. Академперiодика, Киiв (2001). 180 с
  6. М.Н. Магомедов. ФТТ, 46, 924 (2004)
  7. Технология тонких пленок. Справочник / Под ред. А. Майсела, П. Глэнга. Сов. радио, М. (1977). Т. 1. 631 с
  8. В.С. Ефремов. Способ измерения перемещений. А.с. N 329386 (СССР). Опубл. в Б.И. N 7 : 154 (1982)
  9. M. Jande, O. Stefan. Thin Solid Films 112, 127 (1984)
  10. Б.П. Коман, Ж.Г. Юхимюк. Устройство для измерения толщины напыляемой пленки. А.с. ©1461127 (СССР). Опубл. в Б.И. N 7 : 74 (1989)
  11. Ж.Г. Юхимюк, В.Г. Костышин, Б.П. Коман. Емкостный датчик для измерения толщины напыляемой пленки. А.с. N 1366872 (СССР). Опубл. в Б.И. N 3 : 135 (1988)
  12. Л. Паулинг. Природа химической связи. Госхимиздат, М.-Л. (1947). 234 с
  13. В.М. Юзевич, П.М. Сопрунюк. Дiагностика матерiалiв i середовищ. Енергетичнi характеристики поверхневих шарiв. ФМI iм. Г.В. Карпенка НАН Украiни, Львiв (2005). 292 с
  14. Таблицы физических величин. Справочник. Атомиздат, М. (1976). 1006 с
  15. К.А. Бынков, В.С. Ким, В.М. Кузнецов. Поверхностная энергия ГЦК-металлов. Препринт ТНЦ СО АН СССР N 48. Томск (1989). 34 с
  16. N. Eustathopoulus, J.-C. Joud. Current Topics in Mater. Sci. 4, 281 (1980)
  17. R.G. Linford. Solid State Surface Sci., 2, 1 (1973)
  18. Н.Н. Боголюбов, Ю.А. Митропольский. Асимптотические методы в теории нелинейных колебаний. Наука, М. (1974). 504 с.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.