Свойства пленок дихалькогенидов переходных металлов, полученных методом жидкофазной эксфолиации, для терагерцовой спектроскопии
Российский научный фонд (РНФ), 25-19-00575
Булавинцева Е.А.
1, Абдуллаев Д.А.
1,2, Лебедева Е.Д.
1, Лаптева М.С.
1, Кузнецов К.Г.
1, Кузнецов В.В.
1, Лавров С.Д.
1, Мишина Е.Д.
11МИРЭА - Российский технологический университет, Москва, Россия
2Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Москва, Россия

Email: bulavinceva@mirea.ru
Поступила в редакцию: 4 марта 2026 г.
В окончательной редакции: 26 апреля 2026 г.
Принята к печати: 28 апреля 2026 г.
Выставление онлайн: 2 июня 2026 г.
С использованием методов структурного и химического анализа, а также оптических измерений обосновывается эффективность использования пленок дихалькогенидов переходных металлов, полученных методом жидкофазной эксфолиации (ЖФЭ), для задач THz-фотоники. Получены и исследованы пленки WSe2, WS2 и твердого раствора W0.75Mo0.25Se2 на подложках стекла и высокоомного кремния. Структура, химический состав и оптические свойства пленок охарактеризованы комплексно методами растровой электронной микроскопии, энергодисперсионного анализа, оптической спектрофотометрии, оптической и нелинейно-оптической микроскопии. Показано, что полученные пленки достаточно плотно заполняют поверхность подложки, сохраняя стехиометрический состав исходных соединений. Оптические спектры согласуются с представленными в литературе результатами для монокристаллов и структур, полученных методом ЖФЭ: спектр поглощения аппроксимируется набором известных экситонных переходов, что свидетельствует об их хорошем оптическом качестве. На основе измерений терагерцового пропускания под воздействием подсветки лазерным излучением с длиной волны 1064 nm показана эффективность использования таких пленок в качестве оптически управляемых модуляторов терагерцового излучения. Максимальная глубина модуляции 52 % была получена для структур WSe2|Si. Выяснено, что снятие окисла с кремниевой подложки является критически важной процедурой подготовки образцов: без такой подготовки глубина модуляции сигнала образцом эквивалентна глубине модуляции чистым кремнием. Ключевые слова: двумерные полупроводники, ультразвуковая эксфолиация, тонкие пленки, оптические свойства, стехиометрия, THz-излучение.
- K.S. Novoselov, A. Mishchenko, A. Carvalho, A.H. Castro Neto. Sci. 353, 6298, aac9439 (2016)
- E.C. Yusko, J.M. Johnson, S. Majd, P. Prangkio, R.C. Rollings, J. Li, J. Yang, M. Mayer. Nature Nanotechnol. 6, 4, 253 (2011)
- A.K. Geim, I.V. Grigorieva. Nature 499, 7459, 419 (2013)
- O. Lopez-Sanchez, D. Lembke, M. Kayci, A. Radenovic, A. Kis. Nature Nanotechnol. 8, 7, 497 (2013)
- I. Nakase, N.B. Kobayashi, T. Takatani-Nakase, T. Yoshida. Sci. Rep. 5, 10300 (2015)
- A. Mirzaei, J.-Y. Kim, H.W. Kim, S.S. Kim. Acc. Chem. Res. 57, 16, 2395 (2024)
- S. Tiwari, R. Saha. Microelectron. J. 143, 106035 (2024)
- F.K. Perkins, A.L. Friedman, E. Cobas, P.M. Campbell, G.G. Jernigan, B.T. Jonker. Nano Lett. 13, 2, 668 (2013)
- B. Radisavljevic, A. Radenovic, J. Brivio, V. Giacometti, A. Kis. Nature Nanotechnol. 6, 3, 147 (2011)
- T. Roy, M. Tosun, J.S. Kang, A.B. Sachid, S.B. Desai, M. Hettick, C.C. Hu, A. Javey. ACS Nano 8, 6, 6259 (2014)
- F.A. Benimetskiy, V.A. Sharov, P.A. Alekseev, V. Kravtsov, K.B. Agapev, I.S. Sinev, I.S. Mukhin, A. Catanzaro, R.G. Polozkov, E.M. Alexeev, A.I. Tartakovskii, A.K. Samusev, M.S. Skolnick, D.N. Krizhanovskii, I.A. Shelykh, I.V. Iorsh. APL Mater. 7, 10, 101126 (2019)
- P.A. Alekseev, I.A. Milekhin, K.A. Gasnikova, I.A. Eliseyev, V.Yu. Davydov, A.A. Bogdanov, V. Kravtsov, A.O. Mikhin, B.R. Borodin, A.G. Milekhin. Mater. Today Nano 30, 100633 (2025)
- A.D. Liubomirov, V. Kravtsov, R.V. Cherbunin. Semiconductors 54, 11, 1518 (2020)
- А.С. Бричкин, Г.М. Голышков, А.В. Черненко. ЖЭТФ 163, 6, 852 (2023). [A.S. Brichkin, G.M. Golyshkov, A.V. Chernenko. JETP 136, 6, 760 (2023).]
- Е.И. Жемеров, А.А. Гуськов, Е.А. Булавинцева, Д.С. Серегин, С.Д. Лавров. Российск. технол. ж. 14, 1, 43 (2026). [E.I. Zhemerov, A.A. Guskov, E.A. Bulavintseva, D.S. Seregin, S.D. Lavrov. Russ. Technol. J. 14, 1, 43 (2026).]
- B. Zhao, D. Shen, Z. Zhang, P. Lu, M. Hossain, J. Li, B. Li, X. Duan. Adv. Funct. Mater. 31, 48, 2105132 (2021)
- J. You, M.D. Hossain, Z. Luo. Nano Converg. 5, 1. 26 (2018)
- A. Senkic, A. Supina, M. Akturk, C. Gadermaier, M. Maiuri, G. Cerullo, N. Vujivcic. Nanotechnol. 34, 47, 475705 (2023)
- J. Liu, T.W. Lo, J. Sun, C.T. Yip, C.H. Lam, D.Y. Lei. J. Mater. Chem. C 5, 43, 11239 (2017)
- C.-X. Hu, Y. Shin, O. Read, C. Casiraghi. Nanoscale 13, 2, 460 (2021)
- C. Huo, Z. Yan, X. Song, H. Zeng. Sci. Bull. 60, 23, 1994 (2015)
- Sigma-Aldrich. MoS --- product information. URL: https://www.sigmaaldrich.com/RU/en/product/aldrich/901867 (дата обращения: 23.04.2026)
- B. Adilbekova, Y. Lin, E. Yengel, H. Faber, G. Harrison, Y. Firdaus, A. El-Labban, D.H. Anjum, V. Tung, T.D. Anthopoulos. J. Mater. Chem. C 8, 15, 5259 (2020)
- Y. Liao, Z. Huang, H. Qiao, Y. Zhou, H. Yang, X. Qi. Nanotechnol. 33, 48, 485707 (2022)
- P.M. Pataniya, V. Patel, C.K. Sumesh. Nanotechnol. 32, 31, 315709 (2021)
- J. Chen, Z. Xie, J. Huang, Z. Hu, Y. Zhao, Z. Zheng, J. He, H. Long, L. Tao. Opt. Laser Technol. 177, 111166 (2024)
- R. Rafi, M.R. K., N.A. Little Flower, A. M., S.G.T. Chidambaram, A.S. Rajendran. ACS Appl. Nano Mater. 7, 10, 11097 (2024)
- M. Chen, D. Cui, N. Wang, S. Weng, Z. Zhao, F. Tian, X. Gao, K. He, C.-Tu. Chiang, S. Albawardi, S. Alsaggaf, G. Aljalham, M.R. Amer, C. Zhou. ACS Appl. Nano Mater. 6, 5, 3236 (2023)
- R. Sharma, A. Dawar, S. Ojha, R. Laishram, V.G. Sathe, R. Srivastava, O.P. Sinha. J. Electron. Mater. 52, 4, 2819 (2023)
- H. Wang, Y. Bao, B. Wang, K. Shen, H. Jiang, W. Fang, W. Xu. npj 2D Mater. Appl. (2026). https://doi.org/10.1038/s41699-026-00687-0
- S. Mitra, L. Avazpour, I. Knezevic. J. Phys. Condens. Matter 37, 13, 133005 (2025)
- P. Gopalan, B. Sensale-Rodriguez. Adv. Opt. Mater. 8, 3, 1900550 (2020)
- Z. Zhou, J. Lv, C. Tan, L. Yang, Z. Wang. Adv. Funct. Mater. 34, 29, 2316175 (2024)
- C. Backes, B.M. Szyd owska, A. Harvey, S. Yuan, V. Vega-Mayoral, B.R. Davies, P.-L. Zhao, D. Hanlon, E.J.G. Santos, M.I. Katsnelson, W.J. Blau, C. Gadermaie, J.N. Coleman. ACS Nano 10, 1, 1589 (2016)
- P. Chavalekvirat, W. Hirunpinyopas, K. Deshsorn, K. Jitapunkul, P. Iamprasertkun. Precis. Chem. 2, 7, 300 (2024)
- W. Qiao, S. Yan, X. He, X. Song, Z. Li, X. Zhang, W. Zhong, Y. Du. RSC Adv. 4, 92, 50981 (2014)
- G.B. de-Mello, L. Smith, S.J. Rowley-Neale, J. Gruber, S.J. Hutton, C.E. Banks. RSC Adv. 7, 58, 36208 (2017)
- R. Jha, P.K. Guha. J. Mater. Sci. 52, 12, 7256 (2017)
- E. Rahmanian, R. Malekfar. Eur. Phys. J. Appl. Phys. 77, 3, 30401 (2017)
- P.M. Pataniya, C.K. Zankat, M. Tannarana, A. Patel, S. Narayan, G.K. Solanki, K.D. Patel, P.K. Jha, V.M. Pathak. Mater. Res. Bull. 120, 110602 (2019)
- C. Hsu, R. Frisenda, R. Schmidt, A. Arora, S.M. De Vasconcellos, R. Bratschitsch, H.S.J. van der Zant, A. Castellanos-Gomez. Adv. Opt. Mater. 7, 13, 1900239 (2019)
- J. Kopaczek, M.P. Polak, P. Scharoch, K. Wu, B. Chen, S. Tongay, R. Kudrawiec. J. Appl. Phys. 119, 23, 235705 (2016)
- A.A. Ellatief, Z.K. Heiba, I.A.M. Ibrahim, S.I. Ahmed, H. Elshimy, M.B. Mohamed. J. Mater. Sci. Mater. Electron. 34, 20, 1548 (2023)
- F. Huang. J. Phys. Chem. C 123, 12, 7440 (2019)
- E. Mishina, N. Sherstyuk, S. Lavrov, A. Sigov, A. Mitioglu, S. Anghel, L. Kulyuk. Appl. Phys. Lett. 106, 13, 131901 (2015)
- S. Psilodimitrakopoulos, S. Ilin, L.E. Zelenkov, S. Makarov, E. Stratakis. Nanophotonics 13, 18, 3181 (2024)
- W. Huang, Y. Xiao, F. Xia, X. Chen, T. Zhai. Adv. Funct. Mater. 34, 16, 2310726 (2024)
- X. Yin, Z. Ye, D.A. Chenet, Y. Ye, K. O'Brien, J.C. Hone, X. Zhang. Sci. 344, 6183, 488 (2014)
- W. Murray, M. Lucking, E. Kahn, T. Zhang, K. Fujisawa, N. Perea-Lopez, A.L. Elias, H. Terrones, M. Terrones, Z. Liu. 2D Mater. 7, 4, 045020 (2020).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.