Представлены результаты по записи доменов и их оценке с помощью зонда атомно-силового микроскопа для трех толщин пленок 300, 500 и 700 nm. Показано, что на рост и формирование доменов существенно влияет толщина волноводного слоя тонкой пленки. При минимальных напряжениях записи устойчивые и регулярные домены записаны в волноводах толщиной 300 и 500 nm, тогда как при таких же параметрах записи в тонкой пленке толщиной 700 nm регулярность и устойчивость не соблюдаются. Проведены исследования коалесценции доменов, которая зависит как от периода в записи между доменами, так и от толщины самой тонкой пленки. Ключевые слова: доменные структуры, тонкая пленка, атомно-силовая микроскопия, ниобат лития.