Представлены результаты экспериментов по модификации поверхности пьезокерамических материалов в результате воздействия высокоэнергетических импульсных потоков газовой плазмы. В рамках теории диффузионно-деформационной неустойчивости предложена физическая модель, описывающая процессы формирования рельефа поверхности и снижения объемной поляризации образца при увеличении количества импульсов воздействия. Рассмотрены динамические уравнения деформации поверхности с учетом значительных градиентов концентрации дефектов и изменения их активационной энергии в области воздействия плазмы с высоким тепловым фактором потока. Полученные оценки характерного масштаба деформаций и рельефа поверхности хорошо согласуются с экспериментальными данными для образцов пьезокерамики, подвергнутых воздействию потоков газовой плазмы различного ионного состава, и качественно объясняют наблюдаемые изменения поляризации в объеме образцов. Ключевые слова: пьезоэлектрическая керамика, деформация поверхности, взаимодействие плазмы с поверхностью, неустойчивость, дефекты.