Представлены результаты исследования по изменению оптических свойств пленок GeO_x, подвергнутых термическому отжигу в диапазоне температур 280-400 ^oC на воздухе. Пленки GeO_x были получены термическим испарением в вакууме гранул монооксида германия и осаждением паров на холодную подложку из стекла. По данным спектроскопии комбинационного рассеяния света установлено, что нагрев пленок монооксида германия до температуры 280 ^oC приводит к формированию наночастиц аморфного Ge, а при 380 ^oC начинается процесс их кристаллизации. Из полученных оптических спектров пропускания и отражения тонких пленок GeO_x до и после отжигов рассчитаны дисперсионные кривые для показателей преломления и поглощения, а из анализа спектральной зависимости коэффициента поглощения в координатах Тауца - величины оптической щели пленок GeO_x. Установлено, что, варьируя температуру отжига, можно управлять краем собственного поглощения в тонких пленках GeO_x. Ключевые слова: монооксид германия, комбинационное рассеяние света, спектроскопия пропускания и отражения, модель Тауца, край собственного поглощения.