Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4 5
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Электрически неактивная примесь магния в кремнии

Шуман В.Б.¹, Лодыгин А.Н.¹, Яковлева А.А.¹, Порцель Л.М.¹

¹Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия Ioffe Institute, St. Petersburg, Russia

Email: leonid.portsel@mail.ioffe.ru

Поступила в редакцию: 29 апреля 2025 г.

В окончательной редакции: 29 апреля 2025 г.

Принята к печати: 29 апреля 2025 г.

Выставление онлайн: 21 июня 2025 г.

PDF версия

Абстракт
Литература

Изучена динамика образования комплекса MgO в процессе диффузии магния в кремнии, выращенном методом Чохральского (Cz-Si) с содержанием кислорода ~3·10¹⁷ cm^-3. Обнаружено, что комплексы MgO образуются только при температурах выше 1100 ^oC. При более низких температурах атомы магния находятся в связанном состоянии, предположительно в виде частиц, либо фазы Mg₂Si. Образование комплексов происходит после диссоциации Mg₂Si на Mg и Si при повышении температуры. Таким образом, экспериментальные результаты подтверждают предположение о том, что электрически неактивной компонентой примеси магния в кристалле является соединение Mg₂Si. Ключевые слова: легирование кремния, диффузия, примесные центры.

R.F. Franks, J.B. Robertson. Sol. St. Commun., 5, 479 (1967)
L.T. Ho, A.K. Ramdas. Phys. Rev. B 5, 462-474 (1972)
H. Sigmund. J. Electrochem. Soc., 129, 2809 (1982)
В.Б. Шуман, А.А. Лаврентьев, А.А. Яковлева, N.V. Abrosimov, А.Н. Лодыгин, Л.М. Порцель, Ю.А. Астров, ФТП, 56, 9, 858 (2022)
H. Sigmund, D. Weib. Proc. of the 4-th Int. Conf. Ion Implantation: Equipment and Techniques. Springer Series in Electrophysics 11, 473-480 (1983)
R.J.S. Abraham, A. DeAbreu, K.J. Morse, V.B. Shuman, L.M. Portsel, A.N. Lodygin, Yu.A. Astrov, N.V. Abrosimov, S.G. Pavlov, H.-W. Hubers, S. Simmons, M.L.W. Thewalt. Phys. Rev. B 98, 205203 (2018)
Л.М. Порцель, В.Б. Шуман, А.А. Лаврентьев, А.Н. Лодыгин, Н.В. Абросимов, Ю.А. Астров. ФТП 50, 4, 321-326 (2020)
H. Sigmund. J. Electrochem. Soc. 129, 2809 (1982)
В.Б. Шуман, Ю.А. Астров, А.Н. Лодыгин, Л.М. Порцель, ФТП 58, 2, 75 (2024)
Yu.A. Astrov, L.M. Portsel, V.B. Shuman, A.N. Lodygin, N.V. Abrosimov, Phys. Status Solidi A 219, 2200463 (2022)
М. Хансен, К. Андерко. Структуры двойных сплавов. Металлургиздат, М. (1962 г). (M. Hansen. Constitution of Binary Alloys. McGraw-Hill Book. Со., N. Y. (1958).)
H. Bracht, N.A. Stolwijk, H. Mehrer Phys. Rev. B 52, 23, 16542 (1995)
Y. Okada. Phys.Rev. B 41, 10741 (1990)

Учредители

Издатель