Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Влияние тонкого защитного покрытия ScN на сверхпроводящие и структурные характеристики ультратонких пленок NbN

Порохов Н.В.^1,2, Аниканов А.А.¹, Шибалова А.А.¹, Шибалов М.В.¹, Дюдьбин Г.Д.¹, Мумляков А.М.¹, Трофимов И.В.¹, Вовк Н.А.¹, Тархов М.А.^1,2

¹Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Москва, Россия Institute of Nanotechnology of Microelectronics, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia

Institute of Nanotechnology of Microelectronics, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia

²Национальный исследовательский университет "МЭИ", Москва, Россия National Research University «Moscow Power Engineering Institute», Moscow, Russia

National Research University «Moscow Power Engineering Institute», Moscow, Russia

Email: nporokhov@gmail.com

Поступила в редакцию: 8 июля 2024 г.

В окончательной редакции: 8 июля 2024 г.

Принята к печати: 11 июля 2024 г.

Выставление онлайн: 10 сентября 2024 г.

PDF версия

Абстракт
Литература

Исследовано влияние тонкого защитного слоя нитрида скандия (ScN) на сверхпроводящие свойства тонких пленок нитрида ниобия (NbN), полученных методом реактивного магнетронного осаждения. Представлен комплексный анализ морфологических, микроструктурных и электрофизических характеристик тонких пленок, прошедших процесс высокотемпературного отжига в атмосфере кислорода. Установлена зависимость критической температуры перехода тонкой пленки NbN от температуры отжига образцов в кислородной среде, как с покрытием ScN, так и без него. Из исследований рентгеновской рефлектометрии выяснилось, что пленка ScN выполняет функцию защитного слоя даже при температурах отжига около 450^oC, не влияя на плотность и толщину слоя NbN. Показано, что тонкая пленка NbN, покрытая пленкой ScN, более устойчива к агрессивной среде, чем пленка, не покрытая ScN. Ключевые слова: сверхпроводимость, защитные покрытия, нитрид ниобия, нитрид скандия, тонкие пленки.

C.M. Natarajan, M.G. Tanner, R.H. Hadfield. Supercond. Sci. Technol. 25, 6, 063001 (2012). https://doi.org/10.1088/0953-2048/25/6/063001, arXiv:1204.5560
T.M. Klapwijk, A.V. Semenov. IEEE Trans. Terahertz Sci. Technol. 7, 6, 627 (2017). https://doi.org/10.1109/TTHZ.2017.2758267
S. Ariyoshi, K. Nakajima, A. Saito, T. Taino, H. Tanoue, K. Koga, N. Furukawa, H. Yamada, S. Ohshima, C. Otani, J. Bae. Appl. Phys. Express 6, 6, 064103 (2013). https://doi.org/10.7567/APEX.6.064103
J.J. Olaya, L. Huerta, S.E. Rodil, R. Escamilla. Thin Solid Films 516, 23, 8768 (2008). https://doi.org/10.1016/j.tsf.2008.06.065
S. Volkov, M. Gregor, T. Roch, L. Satrapinskyy, B. Granvcivc, T. Fiantok, A. Plecenik. J. Electr. Eng. 70, 7, 89 (2019). https://doi.org/10.2478/jee-2019-0047
M.V. Shibalov, A.M. Mumlyakov, I.V. Trofimov, E.R. Timofeeva, A.P. Sirotina, E.A. Pershina, A.M. Tagachenkov, Y.V. Anufriev, E.V. Zenova, N.V. Porokhov, M.A. Tarkhov. Supercond. Sci. Technol. 34, 8, 085016 (2021). https://doi.org/10.1088/1361-6668/ac0d09
Z. Yang, X. Wei, P. Roy, D. Zhang, P. Lu, S. Dhole, H. Wang, N. Cucciniello, N. Patibandla, Z. Chen, H. Zeng, Q. Jia, M. Zhu. Materials 16, 23, 7468 (2023). https://doi.org/10.3390/ma16237468
S. Guo, Q. Chen, D. Pan, Y. Wu, X. Tu, G. He, H. Han, F. Li, X. Jia, Q. Zhao, H. Zhang, X. Bei, J. Xie, L. Zhang, J. Chen, L. Kang, P. Wu. Sci. Rep. 10, 1, 9057. (2020). https://doi.org/10.1038/s41598-020-65901-5
S.N. Dorenbos. Superconducting Single Photon Detectors. Gildeprint, Enschede. Delft-Leiden (2011). (172) ISBN: 978-90-8593-017-2
I. Filippov, A. Anikanov, A. Rykov, A. Mumlyakov, M. Shibalov, I. Trofimov, N. Porokhov, Y. Anufriev, M. Tarkhov. Supercond. Sci. Technol. 37, 1, 015018 (2024)
B. Biswas, B. Saha. Phys. Rev. Materials 3, 2, 020301 (2019). https://doi.org/10.1103/PhysRevMaterials.3.020301
J.M. Chevalier, S. Cichovn, J. Bulr, M. Poupon, P. Hubi k, L. Fekete, J. Lanvcok. AIP Adv. 9, 1, 015317 (2019). https://doi.org/10.1063/1.5056245
B. Saha, A. Shakouri, T.D. Sands. Appl. Phys. Rev. 5, 2, 021101 (2018). https://doi.org/10.1063/1.5011972
I. Miccoli, F. Edler, H. Pfnur, C. Tegenkamp. J. Phys.: Condens. Matter 27, 22, 223201 (2015). https://doi.org/10.1088/0953-8984/27/22/223201
D. Destraz, K. Ilin, M. Siegel, A. Schilling, J. Chang. Phys. Rev. B 95, 22, 224501. (2017). https://doi.org/10.1103/PhysRevB.95.224501

Учредители

Издатель