Вышедшие номера
Электросопротивление лазерно-индуцированного графена, синтезированного непрерывным CO2-лазером
Российский научный фонд, Проведение инициативных исследований молодыми учеными, 22-72-00017
Михеев К.Г. 1, Зонов Р.Г. 1, Чучкалов Н.В.1, Михеев Г.М. 1
1Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения Российской академии наук, Ижевск, Россия
Email: k.mikheev@udman.ru, znv@udman.ru, chuchkalovkolya@gmail.com, mikheev@udman.ru
Поступила в редакцию: 15 января 2024 г.
В окончательной редакции: 15 января 2024 г.
Принята к печати: 17 января 2024 г.
Выставление онлайн: 14 февраля 2024 г.

Лазерно-индуцированный графен (ЛИГ) является новым перспективным материалом для широкого применения в электронике и медицине. В данной работе представлены результаты исследований по измерению его удельной электропроводности sigma, поверхностного сопротивления Rs, а также контактного сопротивления Rc и удельного контактного сопротивления rhoc медного электрода с пленочной структурой ЛИГ, синтезированной на поверхности полиимидной пленки методом пиролиза ее приповерхностного слоя при построчном сканировании сфокусированного пучка непрерывного углекислотного лазера. Установлено, что синтезированная пленочная структура ЛИГ обладает анизотропией электрического сопротивления, обусловленной построчным сканированием. Показано, что sigma, Rs, Rc и rhoc существенно зависят от плотности энергии F падающего лазерного излучения. Измеренные значения sigma, Rs и rhoc при увеличении F с 31 до 137 J/cm2 варьировались в диапазонах 7.7/10 S/cm, 26/49 Ω/sq и 9/43 Ω·mm2 соответственно. Ключевые слова: лазерно-индуцированный графен, поверхностное сопротивление, удельная электропроводность, контактное сопротивление, удельное контактное сопротивление.