Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Исследование режимов формирования структур для метаповерхностей и конфокальных оптических систем
Jinan Municipal Government, China, Innovation Team Program of Jinan, 202228032
1Южный федеральный университет, Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения, Таганрог, Россия 
2School of Optoelectronic Engineering, Qilu University of Technology (Shandong Academy of Sciences), Jinan, China
3Laser Institute, Qilu University of Technology (Shandong Academy of Sciences), Jinan, China
4Южный федеральный университет, НОЦ "Нанотехнологии", Таганрог, Россия
2School of Optoelectronic Engineering, Qilu University of Technology (Shandong Academy of Sciences), Jinan, China
3Laser Institute, Qilu University of Technology (Shandong Academy of Sciences), Jinan, China
4Южный федеральный университет, НОЦ "Нанотехнологии", Таганрог, Россия
Email: eyugusev@sfedu.ru
Поступила в редакцию: 16 мая 2023 г.
В окончательной редакции: 17 августа 2023 г.
Принята к печати: 30 октября 2023 г.
Выставление онлайн: 6 декабря 2023 г.
Получены структуры поликристаллический кремний/оксид кремния/подложка кремния методом плазменно-химического осаждения из газовой фазы. Исследовано влияние мощности разряда, давления газовой смеси, а также температуры вакуумного отжига на шероховатость, механические напряжения и показатель преломления пленок. Показано, что вакуумный отжиг позволяет существенным образом корректировать значения параметров материалов. Установлены условия формирования структур, подходящие для дальнейшего изготовлении метаповерхностей и оптических элементов и систем на их основе. Ключевые слова: метаповерхность, кремний на изоляторе, оксид кремния, плазмохимическое осаждение.
- М.А. Ремнев, В.В. Климов. УФН 188, 169 (2018). DOI: 10.3367/UFNr.2017.08.038192 [M.A. Remnev, V.V. Klimov. Phys. Usp. 61, 157 (2018)]. DOI: 10.3367/UFNe.2017.08.038192)
- A.M. Shaltout, A.V. Kildishev, V.M. Shalaev. J. Opt. Soc. Am. B 33, 2, 501 (2016). DOI: 10.1364/JOSAB.33.000A21
- J. Yang, S. Gurung, S. Bej, P. Ni, H.W.H. Lee. Rep. Prog. Phys. 85, 3, 036101 (2022). DOI: 10.1088/1361-6633/ac2aaf
- X. Zeng, Y. Zhang, R. Zhang, X. Ren, Z. Zhan, M. Gu, R. Sun, C. Liu, С. Cheng. Opt. Lett. 46, 3, 528 (2021). DOI: 10.1364/OL.415981
- M. Liu, Q. Fan, L. Yu, T. Xu. Opt. Express 27, 8, 10738 (2019). DOI: 10.1364/OE.27.010738
- H. Chen, Z. Wu, Z. Li, Z. Luo, X. Jiang, Z. Wen, L. Zhu, X. Zhou, H. Li, Z. Shang, Z. Zhang, K. Zhang, G. Liang, S. Jiang, L. Du, G. Chen. Opt. Express 26, 23, 29817 (2018). DOI: 10.1364/OE.26.029817
- C.A. Dirdal, G.U. Jensen, H. Angelsk r, P.C.V. Thrane, J. Gjessing, D.A. Ordnung. Opt. Express 28, 10, 15542 (2020). DOI: 10.1364/OE.393328
- F. Zhao, Z. Li, S. Li, X. Dai, Y. Zhou, X. Liao, J.C. Cao, G. Liang, Z. Shang, Z. Zhang, Z. Wen, H. Li, G. Chen. Photon. Res. 10, 4, 886 (2022) DOI: 10.1364/PRJ.439481
- B.A. Slovick, Y. Zhou, Z.G. Yu, I.I. Kravchenko, D.P. Briggs, P. Moitra, S. Krishnamurthy, J. Valentine Phil. Trans. R. Soc. A 375, 20160072 (2017). DOI: 10.1098/rsta.2016.0072
- M.I. Shalaev, J. Sun, A.T., A. Pandey, K. Nikolskiy, N.M. Litchinitser. Nano Lett. 15, 6261 (2015). DOI: 10.1021/acs.nanolett.5b02926
- E.Y. Gusev, J.Y. Jityaeva, S.P. Avdeev, O.A. Ageev. J. Phys.: Conf. Ser. 1124, 022034 (2018). DOI: 10.1088/1742-6596/1124/2/022034
- E.Y. Gusev, J.Y. Jityaeva, O.A. Ageev. Mater. Phys. Mech. 37, 1, 67 (2018). DOI: 10.18720/MPM.3712018_9
- N. Wostbrock, T. Busani. Nanomaterials 10, 11, 2105 (2020). DOI: 10.3390/nano10112105
- E.Y. Gusev, J.Y. Jityaeva, A.A. Geldash, O.A. Ageev. J. Phys.: Conf. Ser. 917, 3, 032029 (2017). DOI: 10.1088/1742-6596/917/3/032029
