Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Формирование острия апертурных кантилеверов для сканирующей ближнепольной оптической микроскопии методом локального ионно-стимулированного осаждения

DOI: 10.61011/FTT.2023.12.56750.5157k

Российский научный фонд, «Проведение фундаментальных научных исследований и поисковых научных исследований малыми отдельными научными группами», 22-29-01239

Коломийцев А.С. ¹, Саенко А.В.¹, Котосонова А.В.¹

¹Южный федеральный университет, Таганрог, Россия Southern Federal University, Taganrog, Russia

Email: askolomiytsev@sfedu.ru

Поступила в редакцию: 16 мая 2023 г.

В окончательной редакции: 17 августа 2023 г.

Принята к печати: 30 октября 2023 г.

Выставление онлайн: 6 декабря 2023 г.

PDF версия

Абстракт
Литература

Представлена новая методика формирования острия зондов для сканирующей ближнепольной оптической микроскопии. Проведены экспериментальные исследования по формированию острия методом локального ионно-стимулированного осаждения углерода. Установлены значения технологических параметров, обеспечивающих высокую точность формирования и повторяемость результатов процесса. Проведены исследования параметров зондов при работе в режиме атомно-силовой микроскопии, исследовано пропускание оптического излучения через апертуру зонда. Ключевые слова: кантилевер, ионно-стимулированное осаждение, сканирующая ближнепольная оптическая микроскопия, осаждение, травление.

S. Reyntjens, R. Puers. J. Micromech. Microeng. 11, 287 (2001). DOI: 10.1088/0960-1317/11/4/301
J. Gierak. Semicond. Sci. Technol. 24, 043001 (2009). DOI: 10.1088/0268-1242/24/4/043001
A.S. Kolomiytsev, A.L. Gromov, O.I. Il'in, I.V. Panchenko, A.V. Kotosonova, A. Ballouk, D. Rodriguez, O.A. Ageev. Ultramic. 234, 113481 (2022). DOI: 10.1016/j.ultramic.2022.113481
B.G. Konoplev, O.A. Ageev, V.A. Smirnov, A.S. Kolomiitsev, N.I. Serbu. Russ. Microelectron. 41, 41 (2012). DOI: 10.1134/S1063739712010052
N.F. van Hulst, M.H.P. Moers, O.F.J. Noordman, R.G. Tack, F.B. Segerink, B. Bolger. Appl. Phys. Lett. 62, 461 (1993). DOI: 10.1063/1.108933

Учредители

Издатель