Формирование острия апертурных кантилеверов для сканирующей ближнепольной оптической микроскопии методом локального ионно-стимулированного осаждения
Российский научный фонд, «Проведение фундаментальных научных исследований и поисковых научных исследований малыми отдельными научными группами», 22-29-01239
Коломийцев А.С.
1, Саенко А.В.1, Котосонова А.В.1
1Южный федеральный университет, Таганрог, Россия
Email: askolomiytsev@sfedu.ru
Поступила в редакцию: 16 мая 2023 г.
В окончательной редакции: 17 августа 2023 г.
Принята к печати: 30 октября 2023 г.
Выставление онлайн: 6 декабря 2023 г.
Представлена новая методика формирования острия зондов для сканирующей ближнепольной оптической микроскопии. Проведены экспериментальные исследования по формированию острия методом локального ионно-стимулированного осаждения углерода. Установлены значения технологических параметров, обеспечивающих высокую точность формирования и повторяемость результатов процесса. Проведены исследования параметров зондов при работе в режиме атомно-силовой микроскопии, исследовано пропускание оптического излучения через апертуру зонда. Ключевые слова: кантилевер, ионно-стимулированное осаждение, сканирующая ближнепольная оптическая микроскопия, осаждение, травление.
- S. Reyntjens, R. Puers. J. Micromech. Microeng. 11, 287 (2001). DOI: 10.1088/0960-1317/11/4/301
- J. Gierak. Semicond. Sci. Technol. 24, 043001 (2009). DOI: 10.1088/0268-1242/24/4/043001
- A.S. Kolomiytsev, A.L. Gromov, O.I. Il'in, I.V. Panchenko, A.V. Kotosonova, A. Ballouk, D. Rodriguez, O.A. Ageev. Ultramic. 234, 113481 (2022). DOI: 10.1016/j.ultramic.2022.113481
- B.G. Konoplev, O.A. Ageev, V.A. Smirnov, A.S. Kolomiitsev, N.I. Serbu. Russ. Microelectron. 41, 41 (2012). DOI: 10.1134/S1063739712010052
- N.F. van Hulst, M.H.P. Moers, O.F.J. Noordman, R.G. Tack, F.B. Segerink, B. Bolger. Appl. Phys. Lett. 62, 461 (1993). DOI: 10.1063/1.108933
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.