Вышедшие номера
Электронно-дифракционное изучение преобразования реконструкции 6 3 на поверхности 4H-SiC(0001) в квазисвободный эпитаксиальный графен
Котоусова И.С.1, Лебедев С.П.1, Антипов В.В.2, Лебедев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный технологический институт (Технический университет), Санкт-Петербург, Россия
Email: koti@mail.ioffe.ru, lebedev.sergey@mail.ioffe.ru, wantipov@yandex.ru, shura.lebe@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 11 августа 2022 г.
В окончательной редакции: 11 августа 2022 г.
Принята к печати: 19 августа 2022 г.
Выставление онлайн: 27 сентября 2022 г.

Методом дифракции быстрых электронов на отражение (ДБЭО) проведено структурное исследование преобразования реконструкции 6 3 на поверхности подложки 4H-SiC в среде Ar с коротким временем сублимационного отжига, в квазисвободный эпитаксиальный графен, благодаря применению интеркаляции водорода на границе верхнего слоя SiC с соседним реконструированным слоем. Установлено нарушение однородности в образовании слоя реконструкции 63. Проведено сопоставление результатов структурного исследования кристаллической структуры квазисвободного графена и однослойного графена с буферным слоем без применения интеркаляции. Ключевые слова: SiC, реконструкция, интеркаляция, графен, ДБЭО.
  1. A.J. Van Bommel, J.E. Crombeen, A. Van Tooren. Surf. Sci. 48, 2, 463 (1975)
  2. K.V. Emtsev, F. Speck, Th. Seyller, L. Ley, J.D. Riley. Phys. Rev. B 77, 15, 155303 (2008)
  3. J. Jobst, D. Waldmann, F. Speck, R. Hirner, D.K. Maude, T. Seyller, H.B. Weber. Phys. Rev. B 81, 19, 195434 (2010)
  4. C. Riedl, C. Coletti, T. Iwasaki, A.A. Zakharov, U. Starke. Phys. Rev. Lett. 103, 24, 246804 ( 2009)
  5. E. Pallecchi, F. Lafont, V. Cavaliere, F. Schopfer, D. Mailly, W. Poirier, A. Ouerghi. Sci. Rep. 4, 1, 1 (2014)
  6. F. Speck, J. Jobst, F. Fromm, M. Ostler, D. Waldmann, M. Hundhausen, H.B. Weber, Th. Seyller. Appl. Phys. Lett. 99, 122106 (2011)
  7. S. Tanabe, M. Takamura, Y. Harada, H. Kageshima, H. Hibino. Jpn. J. Appl. Phys. 53, 04EN01 (2014)
  8. I.A. Eliseyev, A.N. Smirnov, S.P. Lebedev, V.N. Panteleev, P.A. Dementev, J. Pezoldt, G. Hartung, J. Kroger, A.V. Zubov, A.A. Lebedev. Fuller. Nanotub. Carbon Nanostruct., 28, 4, 316 (2020)
  9. S.P. Lebedev, I.A. Eliseyev, V.N. Panteleev, P.A. Dementev, V.V. Shnitov, M.K. Rabchinskii, D.A. Smirnov, A.V. Zubov, A.A. Lebedev. Semiconductors 54, 1657 (2020)
  10. X.N. Xie, H.Q. Wang, A.T.S. Wee, K.P. Loh. Surf. Sci. 478, 1-2, 57 (2001)
  11. X.N. Xie, K.P. Loh. Appl. Phys. Lett. 77, 3361 (2000)
  12. M.L. Bolen, R. Colby, E.A. Stach, M.A. Capano. J. Appl. Phys. 110, 074307 (2011)
  13. И.С. Котоусова, С.П. Лебедев, А.А. Лебедев, П.В. Булат. ФТТ 61, 10, 1978 (2019)
  14. Y.-P. Lin, Y. Ksari, J.-M. Themlin. Nano Res. 8, 839 (2015)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.