Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4 5
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Технология изготовления высококачественных туннельных переходов на основе Nb|Al-AlN|NbN

Переводная версия: 10.21883/PSS.2022.10.54222.49HH

Чекушкин А.М.¹, Филиппенко Л.В.¹, Фоминский М.Ю.¹, Кошелец В.П.¹

¹Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Москва, Россия Kotelnikov Institute of Radio Engineering and Electronics, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia

Kotelnikov Institute of Radio Engineering and Electronics, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia

Email: chekushkin@hitech.cplire.ru

Поступила в редакцию: 29 апреля 2022 г.

В окончательной редакции: 29 апреля 2022 г.

Принята к печати: 12 мая 2022 г.

Выставление онлайн: 13 июля 2022 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Представлено описание технологии изготовления туннельных переходов сверхпроводник-изолятор-сверхпроводник (СИС) высокого качества с предельными характеристиками: значение энергетической щели V_g=3.2-3.4 mV, плотность туннельного тока J до 35 kA/cm², параметр качества R_j/R_n (отношение подщелевого сопротивления к сопротивлению в нормальном состоянии) до 30, площади переходов до 1 μm². СИС-переходы включены в микрополосковую линию NbTiN|SiO₂|Al. Ключевые слова: cверхпроводниковые устройства, туннельный переход сверхпроводник-изолятор-сверхпроводник, плазмохимическое травление.

A.V. Khudchenko, A.M. Baryshev, K.I. Rudakov, P.M. Dmitriev, R. Hesper, L. de Jong, V.P. Koshelets. IEEE Trans. Terahertz Sci. Technol. 6, 1, 127 (2015)
K.I. Rudakov, A.V. Khudchenko, L.V. Filippenko, M.E. Paramonov, R. Hesper, D.A.R. da Costa Lima, A.M. Baryshev, V.P. Koshelets. Appl. Sci. 11, 21, 10087 (2021). DOI: 10.3390/app112110087
A.W. Kleinsasser, R.E. Miller, W.H. Mallison, G.B. Arnold. Phys. Rev. Lett. 72, 11, 1738 (1994)
B. Bumble, H.G. LeDuc, J. Stern. Proc. 9th Int. Symp. Space THz Technol., CIT, PC. 295 (1998)
M.Yu. Torgashin, V.P. Koshelets, P.N. Dmitriev, A.B. Ermakov, L.V. Filippenko, P.A. Yagoubov. IEEE Trans. Appl. Supercond. 17, 2, 379 (2007)
А.М. Чекушкин, Л.В. Филиппенко, А.А. Ломов, D. Liu, S.-C. Shi, В.П. Кошелец. ЖТФ 91, 10, 1577 (2021)
M.Y. Fominsky, L.V. Filippenko, A.M. Chekushkin, P.N. Dmitriev, V.P. Koshelets. Electronics 2021, 10, 23, 2944 (2021). https://doi.org/10.3390/electronics10232944
A.M. Chekushkin, L.V. Filippenko, V.V. Kashin, M.Y. Fominskiy, V.P. Koshelets. RENSIT 13, 4, 419 (2021)
A.B. Ermakov, S.V. Shitov, A.M. Baryshev, V.P. Koshelets, W. Luinge. IEEE Trans. Appl. Supercond. 11, 1, 840 (2001)
https://www.eso.org/public/teles-instr/apex/ (accessed on 14 April, 2022)
http://millimetron.ru/index.php/en/ (accessed on 14 April, 2022)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель