Технология изготовления высококачественных туннельных переходов на основе Nb|Al-AlN|NbN
Чекушкин А.М.1, Филиппенко Л.В.1, Фоминский М.Ю.1, Кошелец В.П.1
1Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Москва, Россия
Email: chekushkin@hitech.cplire.ru
Поступила в редакцию: 29 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 29 апреля 2022 г.
Принята к печати: 12 мая 2022 г.
Выставление онлайн: 13 июля 2022 г.
Представлено описание технологии изготовления туннельных переходов сверхпроводник-изолятор-сверхпроводник (СИС) высокого качества с предельными характеристиками: значение энергетической щели Vg=3.2-3.4 mV, плотность туннельного тока J до 35 kA/cm2, параметр качества Rj/Rn (отношение подщелевого сопротивления к сопротивлению в нормальном состоянии) до 30, площади переходов до 1 μm2. СИС-переходы включены в микрополосковую линию NbTiN|SiO2|Al. Ключевые слова: cверхпроводниковые устройства, туннельный переход сверхпроводник-изолятор-сверхпроводник, плазмохимическое травление.
- A.V. Khudchenko, A.M. Baryshev, K.I. Rudakov, P.M. Dmitriev, R. Hesper, L. de Jong, V.P. Koshelets. IEEE Trans. Terahertz Sci. Technol. 6, 1, 127 (2015)
- K.I. Rudakov, A.V. Khudchenko, L.V. Filippenko, M.E. Paramonov, R. Hesper, D.A.R. da Costa Lima, A.M. Baryshev, V.P. Koshelets. Appl. Sci. 11, 21, 10087 (2021). DOI: 10.3390/app112110087
- A.W. Kleinsasser, R.E. Miller, W.H. Mallison, G.B. Arnold. Phys. Rev. Lett. 72, 11, 1738 (1994)
- B. Bumble, H.G. LeDuc, J. Stern. Proc. 9th Int. Symp. Space THz Technol., CIT, PC. 295 (1998)
- M.Yu. Torgashin, V.P. Koshelets, P.N. Dmitriev, A.B. Ermakov, L.V. Filippenko, P.A. Yagoubov. IEEE Trans. Appl. Supercond. 17, 2, 379 (2007)
- А.М. Чекушкин, Л.В. Филиппенко, А.А. Ломов, D. Liu, S.-C. Shi, В.П. Кошелец. ЖТФ 91, 10, 1577 (2021)
- M.Y. Fominsky, L.V. Filippenko, A.M. Chekushkin, P.N. Dmitriev, V.P. Koshelets. Electronics 2021, 10, 23, 2944 (2021). https://doi.org/10.3390/electronics10232944
- A.M. Chekushkin, L.V. Filippenko, V.V. Kashin, M.Y. Fominskiy, V.P. Koshelets. RENSIT 13, 4, 419 (2021)
- A.B. Ermakov, S.V. Shitov, A.M. Baryshev, V.P. Koshelets, W. Luinge. IEEE Trans. Appl. Supercond. 11, 1, 840 (2001)
- https://www.eso.org/public/teles-instr/apex/ (accessed on 14 April, 2022)
- http://millimetron.ru/index.php/en/ (accessed on 14 April, 2022)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
