Двухслойные логические элементы для классических криогенных компьютеров
Гурович Б.А.
1, Приходько К.Е.
1,2, Кутузов Л.В.
1, Гончаров Б.В.
1, Комаров Д.А.
1, Малиева Е.М.
11Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
2Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Email: prihodko_ke@nrcki.ru
Поступила в редакцию: 29 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 29 апреля 2022 г.
Принята к печати: 12 мая 2022 г.
Выставление онлайн: 13 июля 2022 г.
Впервые изготовлены двухслойные логические элементы "НЕ", "И", "ИЛИ" и "ИЛИ-НЕ", в которых нагревающий элемент нанопровода в одном слое находится в месте, где находится нагреваемый элемент другого нанопровода в соседнем слое. Для изготовления сверхпроводящих нанопроводов был использован NbN (5-7 nm), а в качестве межслоевого диэлектрика применялся Al2O3 (25 nm). В работе показано устройство логических элементов, а также продемонстрирована их работа в импульсном режиме. Применение многослойных структур без гальванической связи между нанопроводами позволяет производить проектирование многоуровневых логических устройств. Ключевые слова: тонкие сверхпроводящие пленки NbN, бесконтактное переключение состояния сверхпроводника, криоэлектронные устройства, интегрированные криогенные резисторы, логические элементы "НЕ"/"И"/"ИЛИ"/"ИЛИ-НЕ", криогенные компьютеры.
- Б.А. Гурович, К.Е. Приходько, Л.В. Кутузов, Б.В. Гончаров. ФТТ 62, 9, 1420 (2020)
- B.A. Gurovich, B.V. Goncharov, M.M. Dementyeva, K.E. Prikhodko, L.V. Kutuzov, D.A. Komarov, A.G. Domantovsky. IOP Conf. Ser. Mater. Sci. Eng. 699, 1, 012016 (2019)
- Б.А. Гурович, К.Е. Приходько, А.Г. Домантовский, В.Л. Столяров, Д.А. Комаров, Е.А. Кулешова, Л.В. Кутузов. Способ перевода сверхпроводника в элементах логики наноразмерных электронных устройств из сверхпроводящего состояния в нормальное. Патент РФ 2674063 (2018)
- D.A. Buck. Proc. IRE 44, 4, 482 (1956)
- V.L. Newhouse, J.W. Bremer. J. Appl. Phys. 30, 9, 1458 (1959)
- K.K. Likharev. Physica C 482, 6 (2012)
- K.K. Likharev, V.K. Semenov. IEEE Trans. Appl. Supercond. 1, 1, 3 (1991)
- M.H. Volkmann, A. Sahu, C.J. Fourie, O.A. Mukhanov. Supercond. Sci. Technol. 26, 1, 015002 (2013)
- M.H. Volkmann, I.V. Vernik, O.A. Mukhanov. IEEE Trans. Appl. Supercond. IEEE 25, 3, 1301005 (2015)
- A.N. McCaughan, K.K. Berggren. Nano Lett. 14, 10, 5748 (2014)
- A.N. McCaughan, N.S. Abebe, Q.Y. Zhao, K.K. Berggren. Nano Lett. 16, 12, 7626 (2016)
- Q.Y. Zhao, E.A. Toomey, B.A. Butters, A.N. McCaughan, A.E. Dane, S.-W. Nam, K.K. Berggren. Supercond. Sci. Technol. IOP Publishing 31, 3, 035009 (2018)
- R. Baghdadi, J.P. Allmaras, B.A. Butters, A.E. Dane, S. Iqbal, A.N. McCaughan, E.A. Toomey, Q.-Y. Zhao, A.G. Kozorezov, K.K. Berggren. Phys. Rev. Appl. 14, 5, 1 (2020)
- B.V. Goncharov, B.A. Gurovich, K.E. Prikhodko, M.M. Dementyeva, V.L. Stolyarov, E.D. Olshansky, A.G. Domantovsky, L.V. Kutuzov, E.M. Malieva, A.A. Cherepanov. IOP Conf. Ser. Mater. Sci. Eng. 1005, 1, 012023 (2020)
- Д.И. Долгий, Е.Д. Ольшанский, Е.П. Рязанцев. Конверсия в машиностроении 3-4, 119 (1999)
- B.A. Gurovich, K.E. Prikhodko, M.A. Tarkhov, A.G. Domantovsky, D.A. Komarov, B.V. Goncharov, E.A. Kuleshova. Micro. Nanosyst. 7, 3, 172 (2015)
- Б.А. Гурович, М.А. Тархов, К.Е. Приходько, Е.А. Кулешова, Д.А. Комаров, В.Л. Столяров, Е.Д. Ольшанский, Б.В. Гончаров, Д.А. Гончарова, Л.В. Кутузов, А.Г. Домантовский. Рос. нанотехнологии 9, 7-8, 36 (2014)
- K.E. Prikhodko, B.A. Gurovich, M.М. Dement'eva. Conf. Ser. Mater. Sci. Eng. 130, 1, 012046 (2016)
- Б.А. Гурович, К.Е. Приходько, Л.В. Кутузов, Б.В. Гончаров, Д.А. Комаров, Е.М. Малиева. ФТТ 63, 9, 1241 (2021)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.