Вышедшие номера
Исследование параметров сверхпроводящих и изолирующих элементов структур, получаемых на пленках YBCO методом задающей маски, при уменьшении их размеров
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 20-08-01006
Мастеров. Д.В.1, Павлов C.A.1, Парафин A.E.1, Скороходов E.B.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: masterov@ipmras.ru, pavlov@ipmras.ru, parafin@ipmras.ru, evgeny@ipmras.ru@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 9 апреля 2021 г.
В окончательной редакции: 9 апреля 2021 г.
Принята к печати: 19 апреля 2021 г.
Выставление онлайн: 6 июня 2021 г.

Настоящая работа посвящена исследованию электрофизических параметров сверхпроводящих и изолирующих элементов планарных структур, изготавливаемых методом задающей маски на основе высокотемпературного сверхпроводника YBa2Cu3O7-d, при уменьшении размеров элементов до значений порядка одного микрометра. С использованием стандартной фотолитографии методом задающей маски получены структуры со сверхпроводящими элементами шириной 2 μm и параметрами, достаточными для приборных применений. Ключевые слова: нано- и микроструктуры, дефекты, рост в локальных областях, YBCO.
  1. E. Il'ichev, L. Dorrer, F. Schmidl, V. Zakosarenko, P. Seidel, G. Hildebrandt. Appl. Phys. Lett. 68, 708 (1996)
  2. M.I. Faley, U. Poppe, K. Urban, V.Yu. Slobodchikov, Yu.V. Maslennikov, A. Gapelyuk, B. Sawitzki, A. Schirdewan. Appl. Phys. Lett. 81, 2406 (2002)
  3. W. Lang, M. Marksteiner, M.A. Bodea, K. Siraj, J.D. Pedarnig, R. Kolarova, P. Bauer, K. Haselgrubler, C. Hasenfuss, I. Beinik, C. Teichert. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. 272, 300 (2012)
  4. M. Malnou, C. Feuillet-Palma, C. Ulysse, G. Faini, P. Febvre, M. Sirena, L. Olanier, J. Lesueur, N. Bergeal. J. Appl. Phys. 116, 074505 (2014)
  5. Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин. ПЖТФ 42, 11, 82 (2016)
  6. Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, Л.С. Ревин, А.Л. Панкратов. Патент РФ на полезную модель N 188983 (2019)
  7. Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, Е.В. Скороходов. ФТТ 62, 9, 1398 (2020)
  8. Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин. ЖТФ 90, 10, 1677 (2020)
  9. Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, A.Е. Парафин, Е.В. Скороходов, П.А. Юнин. ФТТ 60, 11, 2100 (2018)
  10. A.M. Klushin, M. He, M.Yu. Levitchev, V.V. Kurin, N. Klein. J. Phys. Conf. Ser. 97, 012268 (2008)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.