Вышедшие номера
Транспортные и морфологические характеристики тонких пленок YBa2Cu3O7-x при импульсном лазерном напылении со скоростной фильтрацией лазерного эрозионного факела
Ильин А.И.1, Иванов А.А.2
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
2Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Email: alivil2017@yandex.ru
Поступила в редакцию: 9 апреля 2021 г.
В окончательной редакции: 9 апреля 2021 г.
Принята к печати: 19 апреля 2021 г.
Выставление онлайн: 6 июня 2021 г.

Режимы импульсного лазерного напыления со скоростной фильтрацией эрозионного факела с частотой 4-33 Hz при разном времени осаждения на подложки SrTiO3(100) при 730-750oC, скорости отфильтрованных частиц применили для изменения характеристик зависимости R (T) пленок YBa2Cu3O7-x толщиной 150-200 nm. Осаждение при скоростях фильтрации лазерного факела ~ 30 Hz формировало ровную поверхность с сопротивлением при комнатной температуре в 2 раза большим, чем в пленках, полученных без фильтрации, что предполагало отсутствие путей легкого транспорта дырок в плоскости "ab". Ширина сверхпроводящего перехода Delta T составила 2.5-2.9 K, а T(R=0) до 85.8 K при кислородном индексе y=6.85, соответствующем характеристикам хороших пленок такой толщины. Кислородный индекс в пленках был выше (6.85-7.04) и ниже (6.85-6.8) при частоте фильтрации 18-4.5 Hz и 21-33 Hz, соответственно. Исследования поверхности методами сканирующей электронной микроскопии позволили обнаружить перестройку кристаллической структуры при осаждении и ее влияние на транспортные характеристики пленок. Ключевые слова: импульсное лазерное осаждение, рельеф поверхности, транспортные характеристики пленок, эволюция пленки, SrTiO3.
  1. N.E. Hussey. J. Phys.: Condens. Matter 20, 12, 123201 (2008)
  2. U. Poppe, N. Klein, U. Dahne, H. Soltner, C.L. Jia, B. Kabius, K.Urban, A. Lubig, K. Schmidt, S. Hensen, S. Orbach, G. Muller, H. Piel. J. Appl. Phys. 71, 11, 5572, (1992)
  3. D. Goldschmidt, Y. Eckstein. Physica C 200, 1, 99 (1992)
  4. Y. Ando, G.S. Boebinger, A. Passner, T. Kimura, K. Kishio. Phys. Rev. Lett. 75, 25, 4662 (1995)
  5. T. Ito, K. Takenaka, S. Uchida. Phys. Rev. Lett. 70, 25, 3995 (1993)
  6. B. Wuyts, V.V. Moshchalkov, Y. Bruynseraede. Phys. Rev. B 53, 14, 9418 (1996)
  7. B. Dam, J.H. Rector, J.M. Huijbregtse, R. Griessen. Physica C 305, 1, 1 (1998)
  8. M. Reiner, T. Gigl, R. Jany, G. Hammerl, C. Hugenschmidt. Phys. Rev. B 97, 14, 144503 (2018)
  9. M.M. Abdelhadi, J.A. Jung. Phys. Rev. B 68, 18, 184515 (2003)
  10. J. Ye, K. Nakamura. Phys. Rev. B 48, 10, 7554 (1993)
  11. А.И. Ильин, А.А. Иванов, О.В. Трофимов, А.А. Фирсов, А.В. Никулов, А.В. Зотов. Микроэлектроника 48, 2, 147 (2019)
  12. А.И. Ильин, О.В. Трофимов, А.А. Иванов. ФТТ 62, 9, 1555 (2020)
  13. А.А. Бурлаков, В.Л. Гуртовой, А.И. Ильин, А.В. Никулов, В.А. Тулин. Письма в ЖЭТФ 99, 3, 190 (2014)
  14. A.A. Burlakov, A.V. Chernykh, V.L. Gurtovoi, A.I. Il'in, G.M. Mikhailov, A.V. Nikulov, V.A. Tulin. Phys. Lett. A 381, 30, 2432 (2017)
  15. V.L. Gurtovoi, A.I. Ilin, A.V. Nikulov, V.A. Tulin V.A. Low Temper. Phys. 36, 10, 974-981 (2010)
  16. V.L. Gurtovoi, A.I. Ilin, A.V. Nikulov. Phys. Lett. A 384, 26, 126669 (2020)
  17. B. Bucher, P. Steiner, J. Karpinski, E. Kaldis, P. Wachter. Phys. Rev. Lett. 70, 13, 2012 (1993)
  18. А.И. Головашкин. Физ. ин-т им. П.Н. Лебедева РАН, Москва. Препринт. 10. 1-32, (2005)
  19. Y. Koike, Y. Iwabuchi, S. Hosoya, N. Kobayashi, T. Fukase. Physica C 159, 1, 105 (1989).
  20. C.N.R. Rao, J. Gopalakrishnan, A.K. Santra, V. Manivannan. Physica C 174, 1, 11 (1991)
  21. A.I. Il'in, A.V. Andreeva, B.N. Tolkunov. Mater. Sci. Forum 207-209, 625 (1996)
  22. А.И. Ильин, А.В. Андреева. Физика металлов и металловедение 80, 132 (1995)
  23. C. Gerger, D. Anslemetti, J.G. Bednorz, J. Mannhart, D.G. Schlom. Nature 350, 6316, 279 (1991)
  24. O. Malyi, L. Klinger, D.J. Srolovitz, E. Rabkin. Acta Mater. 59, 2872 (2011)
  25. D. Chatain, V. Ghetta, P. Wynblatt. Interface Sci. 12, 7 (2004).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.