Вышедшие номера
Диэлектрические многослойные наноструктуры оксидов тантала и алюминия
Ежовский Ю.К.1, Клусевич А.И.1
1Санкт-Петербургский государственный технологический институт (Технический университет), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 22 января 2003 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2003 г.

Представлены экспериментальные результаты изучения процесса формирования и некоторых диэлектрических характеристик многослойных наноструктур, полученных на основе оксидов тантала и алюминия методом молекулярного наслаивания. Показано, что диэлектрическая проницаемость таких структур практически линейно зависит от состава композиции, а их проводимость - от соотношения толщин каждого слоя, причем при di,j<5 nm существенный вклад вносят туннельные явления.