Представлены результаты исследования методом трехкристальной рентгеновской дифрактометрии (ТРД) состояния нарушенного слоя в кристаллах кремния, сформированного путем имплантации ионов водорода с энергиями 100+200+300 keV, с общей дозой 2·10¹⁶ cm^-2 при последующей термической обработке в интервале температур от 200 до 1100^oC. Рентгеновские исследования в данной работе проводились методом ТРД в схеме, когда исследуемый образец выступает в качестве второго неподвижного кристалла с различными фиксированными угловыми отстройками alpha от положения Брэгга, а третий (совершенный) кристалл-анализатор осуществляет развертку углового распределения излучения, дифрагированного вторым кристаллом. Из сравнения формы дифракционных и диффузных максимумов для исследуемых образцов был сделан качественный вывод о значительной трансформации радиационных дефектов в процессе постимплантационного отжига. Ключевые слова: кремний, ионы водорода, трехкристальная рентгеновская дифрактометрия, радиационные дефекты, постимплантационный отжиг.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.