Вышедшие номера
Влияние поверхностных ловушек на релаксацию инжектированного заряда в диэлектрических пленках
Барыбин А.А.1, Завьялов А.В.1, Шаповалов В.И.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: VIShapovalov@mail.ru
Поступила в редакцию: 8 июня 2011 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2011 г.

Аналитически решена задача релаксации заряда, инжектированного в диэлектрическую пленку, с учетом ее проводимости и захвата носителей как объемными, так и поверхностными глубокими ловушками с быстрой (практически мгновенной) зарядкой, имеющими конечные скорости разрядки. Выполнен анализ поведения заряда в однозонном и двухзонном режимах релаксации. Общие аналитические выражения дают в частных случаях ранее опубликованные результаты. Численные расчеты и анализ экспериментальных данных для пленок оксида титана, осажденных на металлические подложки, подтвердили применимость разработанной модели. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (грант N 10-03-00845-a).
  1. А.А. Барыбин, В.И. Шаповалов. ФТТ 50, 781 (2008)
  2. A. Many, G. Rakavy. Phys. Rev. 126, 1980 (1962)
  3. H.J. Wintle. J. Appl. Phys. 41, 4004 (1970)
  4. I.P. Batra, K.K. Kanazawa, H. Seki. J. Appl. Phys. 41, 3416 (1970)
  5. I.P. Batra, K.K. Kanazawa, B.H. Schechtman, H. Seki. J. Appl. Phys. 42, 1124 (1971)
  6. H. Seki, I.P. Batra. J. Appl. Phys. 42, 2407 (1971)
  7. H.J. Wintle. J. Appl. Phys. 42, 4724 (1971)
  8. А.И. Руденко. ФТП 5, 2383 (1971)
  9. H.J. Wintle. J. Appl. Phys. 43, 2927 (1972)
  10. K.K. Kanazawa, I.P. Batra, H.J. Wintle. J. Appl. Phys. 43, 719 (1972)
  11. H.J. Wintle. Thin Solid Films 21, 83 (1974)
  12. P.W. Chudleigh. Appl. Phys. Lett. 48, 4591 (1977)
  13. В.И. Архипов, А.И. Руденко. ФТП 16, 1798 (1982)
  14. В.В. Брыскин, Л.И. Коровин, Ю.И. Кузьмин. ФТТ 28, 148 (1986)
  15. В.В. Брыскин, Л.И. Коровин, Ю.И. Кузьмин. ФТТ 29, 1323 (1987)
  16. Г. Корн, Т. Корн. Справочник по математике для научных работников и инженеров. Наука, М. (1968). 720 с
  17. Ю.П. Адлер, Е.В. Маркова, Ю.В. Грановский. Планирование эксперимента при поиске оптимальных условий. Наука, М. (1976). 220 с
  18. И.С. Градштейн, И.М. Рыжик. Таблицы интегралов, сумм, рядов и произведений. Наука, М. (1971). С. 106

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.