Фотоэлектронные Si 2p-спектры сверхтонких слоев CoSi2, сформированных на поверхности Si(100)2x1
Гомоюнова М.В.1, Пронин И.И.1, Галль Н.Р.1, Молодцов С.Л.1, Вялых Д.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Marina.Gomoyunova@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 27 декабря 2002 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2003 г.
Методом фотоэлектронной спектроскопии высокого разрешения (~ 140 meV) с использованием синхротронного излучения (hnu=130 eV) исследован процесс твердофазного синтеза сверхтонких слоев CoSi2 на поверхности кремния Si(100)2x1. Изучена эволюция Si 2p-спектров как при нанесении кобальта на поверхность образцов, находящихся при комнатной температуре, так и при последующем их отжиге. Показано, что адсорбция Со на Si(100)2x1 сопровождается утратой реконструкции исходной поверхности кремния, но не приводит к формированию стабильной CoSi2-подобной фазы. При дальнейшем росте количества напыленного кобальта (в диапазоне до шести монослоев) на поверхности кремния с хемосорбированным кобальтом растет несплошная пленка твердого раствора Co-Si. Твердофазная реакция образования CoSi2 начинается при температуре, близкой к 250oC, а завершается после отжига образцов до температуры ~ 350oC. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (проект N 01-02-17288), МПНТ (Госконтракт N 40.012.1.1.1152) и Российско-германской лаборатории на BESSY II.
- W.S. Cho, J.Y. Kim, N.G. Park, I.W. Lyo, K. Jeong, S.S. Kim, D.S. Choi, S.N. Whang, K.H. Chae. Surf. Sci. 453, L309 (2000)
- U. Starke, W. Weiss, G.K. Heinz, Th. Fauster, G.R. Castro. Surf. Sci. 352, 89 (1996)
- J.M. Gallego, R. Miranda, S. Molodtsov, C. Laubcshat, G. Kaindl. Surf. Sci. 239, 203 (1990)
- G. Rangelov, P. Augustin, J. Stober, Th. Fauster. Phys. Rev. B 49, 11, 7535 (1994)
- G. Rangelov, Th. Fauster. Surf. Sci. 365, 403 (1996)
- A. Ishizaka, Y. Shiraki. J. Electrochim. Soc. 133, 666 (1986)
- E. Landemark, C.J. Karlsson, Y.-C. Chao, R.I.G. Uhrberg. Phys. Rev. Lett. 69, 10, 1588 (1992)
- T.-W. Pi, C.-P. Ouyang, J.-F. Wen, L.-C. Tien, J. Hwang, C.-P. Cheng, G.K. Wertheim. Surf. Sci. 514, 327 (2002)
- A.P. Horsfield, S.D. Kenny, H. Fujitani. Phys. Rev. B 64, 245 332 (2001)
- H.L. Meyrheim, U. Dobler, A. Puschmann. Phys. Rev. B 44, 11, 5738 (1991)
- М.В. Гомоюнова, И.И. Пронин, Н.Р. Галль, С.Л. Молодцов, Д.В. Вялых. Письма в ЖТФ, 29, 12, (2003)
- F. Boscherini, J.J. Joyce, M.W. Ruckman, J.H. Weaver. Phys. Rev. B 35, 9, 4216 (1987)
- C. Pirri, S. Hong, M.H. Tuilier, P. Wetzel, G. Gewinner, R. Cortes. Phys. Rev. B 53, 3, 1368 (1996)
- K.-j. Kim, T.-H. Kang, K.-w. Kim, H.-j. Shin, B. Kim. Appl. Surf. Sci. 161, 268 (2000)
- W.R.L. Lambrecht, N.E. Christensen, P. Blochl. Phys. Rev. B 36, 5, 2493 (1987)
- R. Leckey, J.D. Riley, R.L. Johnson, L. Ley, B. Ditchek. J. Vac. Sci. Technol. A6, 1, 63 (1988)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.