Издателям
Вышедшие номера
Фотоэлектронные Si 2p-спектры сверхтонких слоев CoSi2, сформированных на поверхности Si(100)2x1
Гомоюнова М.В.1, Пронин И.И.1, Галль Н.Р.1, Молодцов С.Л.1, Вялых Д.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Marina.Gomoyunova@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 27 декабря 2002 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2003 г.

Методом фотоэлектронной спектроскопии высокого разрешения (~ 140 meV) с использованием синхротронного излучения (hnu=130 eV) исследован процесс твердофазного синтеза сверхтонких слоев CoSi2 на поверхности кремния Si(100)2x1. Изучена эволюция Si 2p-спектров как при нанесении кобальта на поверхность образцов, находящихся при комнатной температуре, так и при последующем их отжиге. Показано, что адсорбция Со на Si(100)2x1 сопровождается утратой реконструкции исходной поверхности кремния, но не приводит к формированию стабильной CoSi2-подобной фазы. При дальнейшем росте количества напыленного кобальта (в диапазоне до шести монослоев) на поверхности кремния с хемосорбированным кобальтом растет несплошная пленка твердого раствора Co--Si. Твердофазная реакция образования CoSi2 начинается при температуре, близкой к 250oC, а завершается после отжига образцов до температуры ~ 350oC. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (проект N 01-02-17288), МПНТ (Госконтракт N 40.012.1.1.1152) и Российско-германской лаборатории на BESSY II.
  1. W.S. Cho, J.Y. Kim, N.G. Park, I.W. Lyo, K. Jeong, S.S. Kim, D.S. Choi, S.N. Whang, K.H. Chae. Surf. Sci. 453, L309 (2000)
  2. U. Starke, W. Weiss, G.K. Heinz, Th. Fauster, G.R. Castro. Surf. Sci. 352, 89 (1996)
  3. J.M. Gallego, R. Miranda, S. Molodtsov, C. Laubcshat, G. Kaindl. Surf. Sci. 239, 203 (1990)
  4. G. Rangelov, P. Augustin, J. Stober, Th. Fauster. Phys. Rev. B 49, 11, 7535 (1994)
  5. G. Rangelov, Th. Fauster. Surf. Sci. 365, 403 (1996)
  6. A. Ishizaka, Y. Shiraki. J. Electrochim. Soc. 133, 666 (1986)
  7. E. Landemark, C.J. Karlsson, Y.-C. Chao, R.I.G. Uhrberg. Phys. Rev. Lett. 69, 10, 1588 (1992)
  8. T.-W. Pi, C.-P. Ouyang, J.-F. Wen, L.-C. Tien, J. Hwang, C.-P. Cheng, G.K. Wertheim. Surf. Sci. 514, 327 (2002)
  9. A.P. Horsfield, S.D. Kenny, H. Fujitani. Phys. Rev. B 64, 245 332 (2001)
  10. H.L. Meyrheim, U. Dobler, A. Puschmann. Phys. Rev. B 44, 11, 5738 (1991)
  11. М.В. Гомоюнова, И.И. Пронин, Н.Р. Галль, С.Л. Молодцов, Д.В. Вялых. Письма в ЖТФ, 29, 12, (2003)
  12. F. Boscherini, J.J. Joyce, M.W. Ruckman, J.H. Weaver. Phys. Rev. B 35, 9, 4216 (1987)
  13. C. Pirri, S. Hong, M.H. Tuilier, P. Wetzel, G. Gewinner, R. Cortes. Phys. Rev. B 53, 3, 1368 (1996)
  14. K.-j. Kim, T.-H. Kang, K.-w. Kim, H.-j. Shin, B. Kim. Appl. Surf. Sci. 161, 268 (2000)
  15. W.R.L. Lambrecht, N.E. Christensen, P. Blochl. Phys. Rev. B 36, 5, 2493 (1987)
  16. R. Leckey, J.D. Riley, R.L. Johnson, L. Ley, B. Ditchek. J. Vac. Sci. Technol. A6, 1, 63 (1988)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.