Структурные фазовые превращения при твердофазной реакции в тонких двухслойных пленках Al/Pt
Алтунин Р.Р.
1, Моисеенко Е.Т.
1, Жарков С.М.
2,11Сибирский федеральный университет, Красноярск, Россия
2Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, Красноярск, Россия
Email: raltunin@gmail.com, zharkov@iph.krasn.ru
Выставление онлайн: 19 июня 2018 г.
Методом in situ дифракции электронов исследована последовательность фаз, формирующихся в процессе твердофазной реакции в тонких двухслойных пленках Al/Pt. Показано, что первой в процессе твердофазной реакции, инициированной термическим нагревом, формируется аморфная фаза PtAl2. В ходе дальнейшего нагрева последовательно формируются кристаллические фазы: PtAl2, Pt2Al3, PtAl, Pt3Al, что качественно согласуется с моделью эффективной теплоты формирования. Проведен количественный анализ содержания фаз, формирующихся в процессе реакции, исследованы структурные фазовые превращения. Работа выполнена при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 16-33-00475 мол_а).
- E.G. Colgan. Mater. Sci. Rep. 5, 1 (1990)
- The Chemistry of Metal CVD / Eds T.T. Kodas, M.J. Hampden-Smith. John Wiley\&Sons (2008). 562 p
- А.С. Рогачев. Успехи химии 77, 22 (2008)
- D.P. Adams. Thin Solid Films 576, 98 (2015)
- B.K. Crone, I.H. Campbell, P.S. Davids, D.L. Smith, C.J. Neef, J.P. Ferraris. J. Appl. Phys. 86, 5767 (1999)
- T. Biggs, M.B. Cortie, M.J. Witcomb, L.A. Cornish. Platin. Met. Rev. 47, 142 (2003)
- R. Volkl, Y. Yamabe-Mitarai, C. Huang, H. Harada. Met. Mater. Trans. A 36, 2881 (2005)
- W.S. Walston. Proc. X Int. Symp. Superalloys-2004 / Ed. K.A. Green, T.M. Pollock, H. Harada, T.E. Howson, R.C. Reed, J.J. Schirra, S. Walston, 579 (2004)
- Y. Noh, O. Song. Korean J. Met. Mater. 52, 61 (2014)
- K.W. Cho, T.W. Hong, S.Y. Kweon, S.K. Choi. Korean J. Mater. Res. 14, 688 (2004)
- Y.S. Hwang, J.W. Lee, S.Y. Lee, B.J. Koo, D.J. Jung, Y.S. Chun, M.H. Lee, D.W. Shin, S.H. Shin, S.E. Lee, B.H. Kim, N.S. Kang, K.N. Kim. Jpn. J. Appl. Phys. 37, 1332 (1998)
- R. Pretorius, T.K. Marais, C.C. Theron. Mater. Sci. Rep. 10, 1 (1993)
- R.W. Bene. Appl. Phys. Lett. 41, 529 (1982)
- P. Gas, C. Bergman, G. Clugnet, P. Barna, A. Kovacs, J. Labar. Defect Diffus. Forum 194- 199, 807 (2001)
- J.L. Labar, A. Kovacs, P.B. Barna. J. Appl. Phys. 90, 6545 (2001)
- X.A. Zhao, E. Ma, H.Y. Yang, M.A. Nicolet. Thin Solid Films 153, 379 (1987)
- E. Ma, M.A. Nicolet. Phys. Status Solidi A 110, 509 (1988)
- E.G. Colgan. J. Appl. Phys. 62, 1224 (1987)
- M. Nastasi, L.S. Hung, J.W. Mayer. Appl. Phys. Lett. 43, 831 (1983)
- S.P. Murarka, I.A. Blech, H.J. Levinstein. J. Appl. Phys. 47, 5175 (1976)
- ADVENT Research Materials Ltd, Oxford, U.K., www.advent-rm.com
- С.М. Жарков, Е.Т. Моисеенко, Р.Р. Алтунин, Н.С. Николаева, В.С. Жигалов, В.Г. Мягков. Письма в ЖЭТФ 99, 472 (2014)
- Е.Т. Моисеенко, Р.Р. Алтунин, С.М. Жарков. ФТТ 59, 1208 (2017)
- S.M. Zharkov, R.R. Altunin, E.T. Moiseenko, G.M. Zeer, S.N. Varnakov, S.G. Ovchinnikov. Solid State Phenom. 215, 144 (2014)
- J.L. Labar. Microsc. Microanal. 15, 20 (2009)
- H. Putz, J.C. Schon, M. Jansen. J. Appl. Crystallogr. 32, 864 (1999)
- G. Majni, C. Nobili, G. Ottaviani, M. Costato. J. Appl. Phys. 52, 4047 (1981)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
