Вышедшие номера
Структурные фазовые превращения при твердофазной реакции в тонких двухслойных пленках Al/Pt
Переводная версия: 10.1134/S106378341807003X
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), мол_а, 16-33-00475
Алтунин Р.Р. 1, Моисеенко Е.Т.1, Жарков С.М. 2,1
1Сибирский федеральный университет, Красноярск, Россия
2Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, Красноярск, Россия
Email: raltunin@gmail.com, zharkov@iph.krasn.ru
Поступила в редакцию: 20 декабря 2017 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2018 г.

Методом in situ дифракции электронов исследована последовательность фаз, формирующихся в процессе твердофазной реакции в тонких двухслойных пленках Al/Pt. Показано, что первой в процессе твердофазной реакции, инициированной термическим нагревом, формируется аморфная фаза PtAl2. В ходе дальнейшего нагрева последовательно формируются кристаллические фазы: PtAl2, Pt2Al3, PtAl, Pt3Al, что качественно согласуется с моделью эффективной теплоты формирования. Проведен количественный анализ содержания фаз, формирующихся в процессе реакции, исследованы структурные фазовые превращения. Работа выполнена при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 16-33-00475 мол_а).
  1. E.G. Colgan. Mater. Sci. Rep. 5, 1 (1990)
  2. The Chemistry of Metal CVD / Eds T.T. Kodas, M.J. Hampden-Smith. John Wiley\&Sons (2008). 562 p
  3. А.С. Рогачев. Успехи химии 77, 22 (2008)
  4. D.P. Adams. Thin Solid Films 576, 98 (2015)
  5. B.K. Crone, I.H. Campbell, P.S. Davids, D.L. Smith, C.J. Neef, J.P. Ferraris. J. Appl. Phys. 86, 5767 (1999)
  6. T. Biggs, M.B. Cortie, M.J. Witcomb, L.A. Cornish. Platin. Met. Rev. 47, 142 (2003)
  7. R. Volkl, Y. Yamabe-Mitarai, C. Huang, H. Harada. Met. Mater. Trans. A 36, 2881 (2005)
  8. W.S. Walston. Proc. X Int. Symp. Superalloys-2004 / Ed. K.A. Green, T.M. Pollock, H. Harada, T.E. Howson, R.C. Reed, J.J. Schirra, S. Walston, 579 (2004)
  9. Y. Noh, O. Song. Korean J. Met. Mater. 52, 61 (2014)
  10. K.W. Cho, T.W. Hong, S.Y. Kweon, S.K. Choi. Korean J. Mater. Res. 14, 688 (2004)
  11. Y.S. Hwang, J.W. Lee, S.Y. Lee, B.J. Koo, D.J. Jung, Y.S. Chun, M.H. Lee, D.W. Shin, S.H. Shin, S.E. Lee, B.H. Kim, N.S. Kang, K.N. Kim. Jpn. J. Appl. Phys. 37, 1332 (1998)
  12. R. Pretorius, T.K. Marais, C.C. Theron. Mater. Sci. Rep. 10, 1 (1993)
  13. R.W. Bene. Appl. Phys. Lett. 41, 529 (1982)
  14. P. Gas, C. Bergman, G. Clugnet, P. Barna, A. Kovacs, J. Labar. Defect Diffus. Forum 194- 199, 807 (2001)
  15. J.L. Labar, A. Kovacs, P.B. Barna. J. Appl. Phys. 90, 6545 (2001)
  16. X.A. Zhao, E. Ma, H.Y. Yang, M.A. Nicolet. Thin Solid Films 153, 379 (1987)
  17. E. Ma, M.A. Nicolet. Phys. Status Solidi A 110, 509 (1988)
  18. E.G. Colgan. J. Appl. Phys. 62, 1224 (1987)
  19. M. Nastasi, L.S. Hung, J.W. Mayer. Appl. Phys. Lett. 43, 831 (1983)
  20. S.P. Murarka, I.A. Blech, H.J. Levinstein. J. Appl. Phys. 47, 5175 (1976)
  21. ADVENT Research Materials Ltd, Oxford, U.K., www.advent-rm.com
  22. С.М. Жарков, Е.Т. Моисеенко, Р.Р. Алтунин, Н.С. Николаева, В.С. Жигалов, В.Г. Мягков. Письма в ЖЭТФ 99, 472 (2014)
  23. Е.Т. Моисеенко, Р.Р. Алтунин, С.М. Жарков. ФТТ 59, 1208 (2017)
  24. S.M. Zharkov, R.R. Altunin, E.T. Moiseenko, G.M. Zeer, S.N. Varnakov, S.G. Ovchinnikov. Solid State Phenom. 215, 144 (2014)
  25. J.L. Labar. Microsc. Microanal. 15, 20 (2009)
  26. H. Putz, J.C. Schon, M. Jansen. J. Appl. Crystallogr. 32, 864 (1999)
  27. G. Majni, C. Nobili, G. Ottaviani, M. Costato. J. Appl. Phys. 52, 4047 (1981)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.